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1. JP2019523882 - 共通のシャフト上にターボ分子ポンプおよびブースターポンプを有する質量分析式漏洩検出器

PermaLink
Amt
Japan
Aktenzeichen/Anmeldenummer 2018565830
Anmeldedatum 13.06.2017
Veröffentlichungsnummer 2019523882
Veröffentlichungsdatum 29.08.2019
Erteilungsnummer 6883051
Erteilungsdatum 11.05.2021
Veröffentlichungsart B2
IPC
G01M 3/20
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
MPrüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3Untersuchen der Dichtheit und Festigkeit von Konstruktionen gegen Fluide
02durch Gas, Flüssigkeit oder Vakuum
04durch Nachweis der Anwesenheit von Gas oder Flüssigkeit an der Leckstelle
20mit besonderen Stoffen zum Ausfindigmachen, z.B. Farbstoff, fluoreszierender Stoff, radioaktiver Stoff
F04D 19/04
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
19Lüfter , Gebläse, Verdichter axialer Bauart
02Mehrstufige Gebläse und Verdichter
04zur Erzeugung hohen Vakuums, z.B. Molekularpumpen
F04D 25/16
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
25Verdichter-, Gebläseeinrichtungen oder Gebläsesysteme
16Kombinationen von zwei oder mehr Lüftern
F04D 29/70
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
29Einzelheiten, Bauteile oder Zubehör
70Saugkörbe; Filter; Schmutzabscheidung; Reinigung
CPC
F04D 19/046
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
046Combinations of two or more different types of pumps
F04D 29/104
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
08Sealings
10Shaft sealings
102especially adapted for elastic fluid pumps
104the sealing fluid being other than the working fluid or being the working fluid treated
G01M 3/205
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
04by detecting the presence of fluid at the leakage point
20using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
202using mass spectrometer detection systems
205Accessories or associated equipment; Pump constructions
F04D 25/16
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
25Pumping installations or systems
16Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 19/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Anmelder インフィコン　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング
Erfinder グローセ・ブレイ・ヴェルナー
ベーム・トーマス
ブルーンス・ヤルマル
Vertreter 杉本　修司
野田　雅士
堤　健郎
林田　久美子
小林　由佳
中田　健一
金子　大輔
谷口　洋樹
Prioritätsdaten 102016210701 15.06.2016 DE
Titel
(JA) 共通のシャフト上にターボ分子ポンプおよびブースターポンプを有する質量分析式漏洩検出器
Zusammenfassung
(JA)

【課題】質量分析式漏洩検出器において、汚染防止のためターボモレキュラーポンプの駆動部を質量分析計から分離する。
【解決手段】
多段式のターボ分子ポンプ１２と、その吸込側に接続された質量分析計１７と、正圧側に接続された予備真空ポンプ１８と、吸込側が被検体に対するコネクタ２８を有し、正圧側がガス導通路２２を介してターボ分子ポンプ１２の正圧側と、予備真空ポンプ１８の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ２４と、を備えた質量分析式漏洩検出器において、ターボ分子ポンプ１２のステージ３０，３２およびブースターポンプステージは、共通のシャフト上に配置されて共通の駆動部３４を有し、被検体に接続可能なブースターポンプステージの正圧側と、質量分析計１７に接続されたターボ分子ポンプ１２のポンプステージの吸込側との間において、分離部３６がガス導通路を遮断する構成とする。
【選択図】図２
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