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【課題】質量分析式漏洩検出器において、汚染防止のためターボモレキュラーポンプの駆動部を質量分析計から分離する。【解決手段】 多段式のターボ分子ポンプ12と、その吸込側に接続された質量分析計17と、正圧側に接続された予備真空ポンプ18と、吸込側が被検体に対するコネクタ28を有し、正圧側がガス導通路22を介してターボ分子ポンプ12の正圧側と、予備真空ポンプ18の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ24と、を備えた質量分析式漏洩検出器において、ターボ分子ポンプ12のステージ30,32およびブースターポンプステージは、共通のシャフト上に配置されて共通の駆動部34を有し、被検体に接続可能なブースターポンプステージの正圧側と、質量分析計17に接続されたターボ分子ポンプ12のポンプステージの吸込側との間において、分離部36がガス導通路を遮断する構成とする。【選択図】図2