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1. EP0656997 - MIKROMINIATURISIERBARES VENTIL.

Amt Europäisches Patentamt (EPA)
Aktenzeichen/Anmeldenummer 93919152
Anmeldedatum 24.08.1993
Veröffentlichungsnummer 0656997
Veröffentlichungsdatum 14.06.1995
Veröffentlichungsart A1
IPC
F15C 5/00
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
15Druckmittelbetriebene Stellorgane; Hydraulik oder Pneumatik allgemein
CStrömungsmittelbetriebene Schaltungselemente, besonders für Rechen- oder Steuerzwecke
5Herstellung strömungsmittelbetriebener Schaltungselemente; Herstellung von Zusammenbauten solcher Elemente
F15C 5/00
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
15Druckmittelbetriebene Stellorgane; Hydraulik oder Pneumatik allgemein
CStrömungsmittelbetriebene Schaltungselemente, besonders für Rechen- oder Steuerzwecke
5Herstellung strömungsmittelbetriebener Schaltungselemente; Herstellung von Zusammenbauten solcher Elemente
F16K 99/00
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
KVentile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
99Sachverhalte, soweit nicht in anderen Gruppen dieser Unterklasse vorgesehen
CPC
F16K 99/0001
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0001Microvalves
F15C 5/00
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
CFLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
5Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements ; integrated circuits
F16K 99/0005
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0001Microvalves
0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
0005Lift valves
F16K 99/0015
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0001Microvalves
0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
0015Diaphragm or membrane valves
F16K 99/0051
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0001Microvalves
0034Operating means specially adapted for microvalves
0042Electric operating means therefor
0051using electrostatic means
F16K 2099/0074
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0073Fabrication methods specifically adapted for microvalves
0074using photolithography, e.g. etching
Anmelder FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
Erfinder ZENGERLE ROLAND
RICHTER AXEL
Designierte Staaten
Prioritätsdaten 4227998 24.08.1992 DE
9302269 24.08.1993 EP
Titel
(DE) MIKROMINIATURISIERBARES VENTIL.
(EN) MICRO-MINIATURIZABLE VALVE.
(FR) SOUPAPE MICRO-MINIATURISABLE.
Zusammenfassung
(DE)
Ein mikrominiaturisierbares Ventil umfaßt eine Druckausgleichskammer (2), ein erstes semiaktives Ventil (3), das zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer ersten Fluidleitung (L1) angeordnet ist und ein zweites semiaktives Ventil (4), das zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer zweiten Fluidleitung (L2) angeordnet ist.

(EN)
A micro-miniaturizable valve has a pressure compensating chamber (2), a first semi-active valve (3) arranged between the pressure compensation chamber (2) and a first fluid line (L1) and a second semi-active valve (4) arranged between the pressure compensation chamber (2) and a second fluid line (L2).

(FR)
Une soupape micro-miniaturisable comprend une chambre (2) d'équilibrage de la pression, une première soupape semi-active (3) située entre la chambre (2) d'équilibrage de la pression et un premier conduit de fluide (L1) et une deuxième soupape semi-active (4) située entre la chambre (2) d'équilibrage de la pression et un deuxième conduit de fluide (L2).

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