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1. DE102019207678 - Verfahren zum Bestimmen mindestens einer thermischen Eigenschaft eines Proben-Materials

Amt
Deutschland
Aktenzeichen/Anmeldenummer 102019207678
Anmeldedatum 24.05.2019
Veröffentlichungsnummer 102019207678
Veröffentlichungsdatum 26.11.2020
Veröffentlichungsart A1
IPC
G01N 25/16
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
25Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwenden thermischer Mittel
16durch Untersuchen des Wärmeausdehnungskoeffizienten
G01B 11/26
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
26zum Messen von Winkeln oder Kegeln; zum Prüfen der Achsrichtungen
CPC
G01N 25/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
25Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
16by investigating thermal coefficient of expansion
Anmelder Carl Zeiss SMT GmbH
Erfinder Gerhard Michael
Titel
(DE) Verfahren zum Bestimmen mindestens einer thermischen Eigenschaft eines Proben-Materials
Zusammenfassung
(DE)

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen mindestens einer thermischen Eigenschaft eines Proben-Materials, umfassend: Starres Verbinden eines Proben-Streifens (1) des Proben-Materials mit einem Referenz-Streifen (2) eines Referenz-Materials zu einem Doppel-Streifen (3), Verbiegen des Doppel-Streifens (3) durch Verändern einer Umgebungs-Temperatur (T1, T2) des Doppel-Streifens (3), Bestimmen einer Differenz (ΔLP-Δ LR) einer Längenänderung zwischen dem Proben-Streifen (1) und dem Referenz-Streifen (2) beim Verbiegen des Doppel-Streifens (3), sowie Bestimmen der mindestens einen thermischen Eigenschaft des Proben-Materials anhand der Differenz (ΔLP - Δ LR) der Längenänderung. Bei der thermischen Eigenschaft kann es sich beispielsweise um den thermischen Ausdehnungskoeffizienten oder um eine Nulldurchgangstemperatur des Proben-Materials handeln. embedded image


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