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1. DE102013210854 - Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe

Amt
Deutschland
Aktenzeichen/Anmeldenummer 102013210854
Anmeldedatum 11.06.2013
Veröffentlichungsnummer 102013210854
Veröffentlichungsdatum 11.12.2014
Veröffentlichungsart A1
IPC
F04C 18/344
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
CRotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
18Rotationskolbenpumpen besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
30mit den Merkmalen, die von zwei oder mehreren der Gruppen F04C18/02 , F04C18/08 , F04C18/22 , F04C18/24 , F04C18/48233
34mit Eingriff nach Gruppe F04C18/08 oder F04C18/2292
344mit Schiebern, die in Hubeingriff mit dem inneren Eingriffskörper stehen
CPC
F04C 18/3441
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
18Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
30having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
34having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
344with vanes reciprocating with respect to the inner member
3441the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
F04C 25/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
25Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
02for producing high vacuum
F04C 28/06
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
28Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
06specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
F04C 28/24
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
28Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
24characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves ; or unloading valves
F04C 28/28
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
28Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
28Safety arrangements; Monitoring
F04C 29/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
29Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
02Lubrication
Anmelder Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Erfinder Despesse Christophe
Vertreter von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patentanwälten und Rechtsanwälten mbB
Titel
(DE) Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe
Zusammenfassung
(DE)

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieberpumpe, mit einem Pumpengehäuse (10), die in einem Schöpfraum (12) angeordnet ist. In dem Schöpfraum (12) ist eine Förderelement (14, 16) angeordnet. An einem Einlass (22) des Schöpfraums (12) ist eine Rückschlagventil (28) vorgesehen. Zum Schließen des Rückschlagventils (28) bei im Bereich des Einlasses (22) herrschenden, niedrigen Drücken ist neben einer Spiralfeder (34), eine Fluideinrichtung (36) angeordnet. Beim Ausschalten der Vakuumpumpe erfolgt ein Verschieben eines Schaltkolbens (40) in eine Stellung, in der durch den Zuführkanal (42) in den Verbindungskanal (38) Fluid strömt, das sodann durch Einströmen in den Einlasskanal (42) das Rückschlagventil (28) schließt.