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1. (WO2008011879) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR EINE SONDENMIKROSKOPISCHE UNTERSUCHUNG EINER PROBE
Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

Ansprüche

1. Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe (30), insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit einer Messsonde (6) und einer Ver- lagerungseinrichtung (10, 12), die konfiguriert ist, mittels einer Relativbewegung zwischen der Messsonde (6) und einer Probeaufnahme die Messsonde (6) aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung zu bringen, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probeaufnahme angeordneten Probe (3) in einer Messstellung ist, wobei die Verlagerungsvorrichtung (10, 12) eine Verlagerungseinheit (10), die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine Teilverlagerung der Messsonde

(6) relativ zu der Probeaufnahme auszufuhren, und eine weitere Verlagerungseinheit (12) umfasst, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme auszuführen, und wobei die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) an eine Steuereinrichtung ge- koppelt sind, die konfiguriert ist, eine Sollwertabweichung für die Teilverlagerung verarbeitend ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitzustellen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e nnz e i c hn e t, dass die Verlagerungsein- heit (10) konfiguriert ist, die Teilverlagerung mit einer Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, und die weitere Verlagerungseinheit (12) konfiguriert ist, die weitere Teil Verlagerung mit einer weiteren Verlagerungsgeschwindigkeit auszuführen, die von der Verlagerungsgeschwindigkeit verschieden ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g ek e n n z e i c hn e t, dass die Steuereinrichtung einen Regelmechanismus für die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit (10) implementierend ausgeführt ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch g e k e nn z e i c hn e t, dass die Steuereinrichtung einen weiteren Regelmechanismus für die weitere Teil Verlagerung mittels der weiteren

Verlagerungseinheit (12) implementierend ausgeführt ist.

5. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) konfiguriert ist, bei der Relativbewegung wenigstens die Messsonde (6) oder wenigstens die Probenaufhahme zu verlagern.

6. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein von der Verlagerungseinheit (10) ausführbarer Verlagerungshub größer als ein von der weiteren Verlagerungseinheit (12) ausfuhrbarer Verlagerungshub ist.

7. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) konfiguriert sind, die Relativbewegung in einer für die Teilverlagerung und die weitere Teilverlagerung gemeinsamen Bewegungsrichtung auszuführen.

8. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung konfiguriert ist, die Sollwertabweichung zu erfassen.

9. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekenn- zeichnet, dass wenigstens die Verlagerungseinheit (10) oder wenigstens die weitere

Verlagerungseinheit (12) mit einem oder mehreren Piezostellelementen gebildet ist.

10. Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde (6) konfiguriert ist, Messwerte für eine abstandsspektro- skopischen Untersuchung der Probe (30) zu erfassen.

11. Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe (30), insbesondere zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen, bei dem mittels einer Relativbewegung zwischen einer Messsonde (6) und einer Probenaufnahme die Messsonde (6) aus einer Aus- gangsstellung in eine Endstellung gebracht wird, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufnahme angeordneten Probe (30) in einer Messstellung ist, wobei bei der Relativbewegung mit einer von einer Verlagerungsvorrichtung (10, 12) umfassten Verlagerungseinheit (10) eine Teilverlagerung der Messson- de (6) relativ zu der Probeaufnahme und mit einer von der Verlagerungsvorrichtung (10, 12) umfassten weiteren Verlagerungseinheit (12) eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme ausgeführt werden und wobei von einer an die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) gekoppelten Steuer- einrichtung unter Berücksichtigung einer Sollwertabweichung für die Teilverlagerung ein

Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitgestellt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass von der Verlage- rungseinheit (10) die Teilverlagerung mit einer Verlagerungsgeschwindigkeit und von der weiteren Verlagerungseinheit (12) die weitere Teilverlagerung mit einer weiteren Verlagerungsgeschwindigkeit ausgeführt werden, die von der Verlagerungsgeschwindigkeit verschieden ist.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass von der Steuereinrichtung ein Regelmechanismus für die Teilverlagerung mittels der Verlagerungseinheit (10) implementiert wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass von der Steuereinrich- tung ein weiterer Regelmechanismus für die weitere Teilverlagerung mittels der weiteren

Verlagerungseinheit (12) implementiert wird.

15. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Relativbewegung wenigstens die Messsonde (6) oder wenigstens die Probenaufnahme verlagert wird.

16. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Relativbewegung von der Verlagerungseinheit (10) im Rahmen der Teilverlagerung ein Verlagerungshub ausgeführt wird, welcher größer ist als ein von der weiteren Verlagerungseinheit (12) im Rahmen der weiteren Teilverlagerung ausgeführter

Verlagerungshub.

17. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 16 dadurch gekennzeichnet, dass die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) die Relativbewegung in einer für die Teilverlagerung und die weitere Teilverlagerung gemeinsamen Bewegungsrichtung ausfuhren.

18. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 17 dadurch gekennzeichnet, dass die Sollwertabweichung mit der Steuereinrichtung erfasst wird.

19. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeich- n e t, dass mit der Messsonde (6) Messwerte für eine abstandsspektroskopischen Untersuchung der Probe erfasst werden.

20. Verwendung einer Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 10 in einer Mikroskopeinrichtung ausgewählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopeinrichtun- gen: Rastersondenmikroskop, Rasterkraftmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Rasternahfeldmikroskop und Rasterphotonenmikroskop.

21. Verwendung eines Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 12 bis 19 für eine mikroskopische Untersuchung einer Probe (30) gemäß einer Mikroskopietechnik ausge- wählt aus der folgenden Gruppe von Mikroskopietechniken: Rastersondenmikroskopie,

Rasterkraftmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie, Rasternahfeldmikroskopie und Rasterphotonenmikroskopie.