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1. (WO2007010011) OPTICAL ELEMENT MODULE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2007/010011    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2006/064427
Veröffentlichungsdatum: 25.01.2007 Internationales Anmeldedatum: 19.07.2006
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 7/00 (2006.01)
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
BISCHOFF, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FEDERAU, Hagen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HEINTEL, Willi [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WÜSTHOFF, Bernd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WIELAND, Jochen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BISCHOFF, Thomas; (DE).
FEDERAU, Hagen; (DE).
HEINTEL, Willi; (DE).
WÜSTHOFF, Bernd; (DE).
WIELAND, Jochen; (DE)
Vertreter: COHAUSZ & FLORACK; Bleichstrasse 14, 40211 Düsseldorf (DE)
Prioritätsdaten:
60/700,517 19.07.2005 US
Titel (EN) OPTICAL ELEMENT MODULE
(FR) MODULE D'ELEMENT OPTIQUE
Zusammenfassung: front page image
(EN)An optical element module comprising a plurality of module components is provided. The module components comprise an optical element, an optical element holder and a contact element. The optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the optical element via the first contact element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being different from the first coefficient of thermal expansion. At least one of the module components is adapted to provide at least a reduction of forces introduced into the optical element upon a thermally induced position change in the relative position between the optical element and the optical element holder, the position change resulting from a temperature situation variation in a temperature situation of the plurality of module components.
(FR)L'invention concerne un module d'élément optique comprenant une pluralité de composants modulaires. Les composants modulaires comprennent un élément optique, un porte-élément optique et un élément de contact. L'élément optique présente un premier coefficient de dilatation thermique. Le porte-élément optique retient l'élément optique au moyen du premier élément de contact et présente un second coefficient de dilatation thermique, le second coefficient de dilatation thermique étant différent du premier coefficient de dilatation thermique. Au moins un des composants modulaires est conçu pour assurer au moins une réduction de forces introduites dans l'élément optique lors d'un changement de position induit thermiquement au niveau de la position relative entre l'élément optique et le porte-élément optique, le changement de position résultant d'une variation de situation de température dans une situation de température de la pluralité de composants modulaires.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: English (EN)
Anmeldesprache: English (EN)