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1. WO2021069598 - GASAUSLASSORGAN EINES CVD-REAKTORS

DE102019127375Gasauslassorgan eines CVD-Reaktors
Appl.Date 10.10.2019
Anm.-Nr. 102019127375 Anmelder AIXTRON SE Art (Veröff.) A1
Inclusion Criteria IC5
Einzige Priorität innerhalb der Familie.
Datum (Veröff.) 15.04.2021
WO/2021/069598GAS OUTLET ELEMENT OF A CVD REACTOR
Appl.Date 08.10.2020
Anm.-Nr. PCT/EP2020/078290 Anmelder AIXTRON SE Art (Veröff.) A Sprache (Veröff.) de
Inclusion Criteria IC1
PCT-Anmeldung, aus der die Familie stammt.
Datum (Veröff.) 15.04.2021