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1. WO2021078449 - SENSOR MIT DURCH AUSSPARUNG GEÖFFNETER MEMBRAN ZUR KONZENTRATIONSMESSUNG EINES ANALYSEFLUIDS

Veröffentlichungsnummer WO/2021/078449
Veröffentlichungsdatum 29.04.2021
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2020/076282
Internationales Anmeldedatum 21.09.2020
IPC
G01N 27/18 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
27Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung elektrischer, elektrochemischer oder magnetischer Mittel
02durch ermitteln der Impedanz
04durch Untersuchen des Widerstandes
14eines elektrisch beheizten Körpers in Abhängigkeit von der Temperaturänderung
18verursacht durch Änderungen der Wärmeleitfähigkeit eines umgebenden Stoffes, der zu prüfen ist
CPC
G01N 27/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
02by investigating impedance
04by investigating resistance
14of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
18caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • GRUTZECK, Helmut
  • MUELLER, Renate
  • ZEHRINGER, Stefan
Prioritätsdaten
10 2019 216 129.421.10.2019DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) SENSOR MIT DURCH AUSSPARUNG GEÖFFNETER MEMBRAN ZUR KONZENTRATIONSMESSUNG EINES ANALYSEFLUIDS
(EN) SENSOR COMPRISING A MEMBRANE WITH AN OPENING FOR MEASURING THE CONCENTRATION OF AN ANALYSIS FLUID
(FR) CAPTEUR COMPRENANT UNE MEMBRANE DOTÉE D'UNE OUVERTURE PERMETTANT LA MESURE DE LA CONCENTRATION D'UN FLUIDE D'ANALYSE
Zusammenfassung
(DE) Offenbart ist ein Sensor (1) zum Messen einer Konzentration eines Analysefluids basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer Messmembran (8) angeordneten Analyseheizelement (14) zum Erwärmen des Analysefluids, mit einem auf einer Referenzmembran (6) angeordneten Referenzheizelement (12) zum Erwärmen mindestens eines Referenzgases, wobei die Messmembran (8) und die Referenzmembran (6) zueinander benachbart zwischen einem Sensorsubstrat (16) und einem Kappensubstrat (18) angeordnet sind, wobei die Messmembran (8) in einem Messvolumen (4) und die Referenzmembran (6) in einem Referenzvolumen (2) angeordnet sind, wobei die Messmembran (8) und die Referenzmembran (6) jeweils mindestens eine Beschichtung (28) aufweisen, wobei die Messmembran (8) durch mindestens eine Aussparung (30) geöffnet ist. Des Weiteren ist ein Verfahren zum Herstellen eines Sensors offenbart.
(EN) The invention relates to a sensor (1) for measuring a concentration of an analysis fluid based on a heat conductivity principle, comprising at least one analysis heating element (14) arranged on a measuring membrane (8) for heating the analysis fluid, and comprising a reference heating element (12) arranged on a reference membrane (6) for heating at least one reference gas, wherein the measuring membrane (8) and the reference membrane (6) are arranged next to one another between a sensor substrate (16) and a cap substrate (18), wherein the measuring membrane (8) is arranged in a measuring volume (4) and the reference membrane (6) is arranged in a reference volume (2), wherein the measuring membrane (8) and the reference membrane (6) each have at least one coating (28), wherein the measuring membrane (8) has at least one opening (30). The invention also relates to a method for producing a sensor.
(FR) L'invention se rapporte à un capteur (1) permettant de mesurer une concentration d'un fluide d'analyse en fonction d'un principe de conductivité thermique, comprenant au moins un élément chauffant d'analyse (14) disposé sur une membrane de mesure (8) permettant de chauffer le fluide d'analyse, et comprenant un élément chauffant de référence (12) disposé sur une membrane de référence (6) permettant de chauffer au moins un gaz de référence, la membrane de mesure (8) et la membrane de référence (6) étant disposées l'une à côté de l'autre entre un substrat de capteur (16) et un substrat de couvercle (18), la membrane de mesure (8) étant disposée dans un volume de mesure (4) et la membrane de référence (6) étant disposée dans un volume de référence (2), la membrane de mesure (8) et la membrane de référence (6) présentant chacune au moins un revêtement (28), la membrane de mesure (8) présentant au moins une ouverture (30). L'invention se rapporte également à un procédé de production d'un capteur.
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