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1. CN109052407 - Recycling and purification method of silicon cutting waste material

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ ZH ]

权利要求书

1.一种硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于,具体步骤为:
(1)将硅锭切割过程产生的硅废浆料进行固液分离并烘干得到固态硅废料;
(2)将CaO、SiO 2 、助熔剂混合均匀得到造渣剂;
(3)将步骤(2)的造渣剂与步骤(1)的固态硅废料混合均匀,并置于中频感应炉中,抽真空然后通入氩气,在氩气氛围条件下加热至温度为1450~1700℃,恒温熔炼0.5~4h,随炉冷却得到熔块;
(4)采用金刚石线切割法将步骤(3)熔块的硅渣分离即得高纯硅。

2.根据权利要求1所述硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于:步骤(1)固液分离的方法为先重力沉降法进行硅废浆料的初步分离,去除上层液,再将下层浆料进行抽滤脱水处理。

3.根据权利要求1所述硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于:步骤(2)CaO、SiO 2 、助熔剂的质量比为2:1.33:(0.5~1),CaO、SiO 2 、助熔剂均为分析纯,SiO 2 为颗粒状且粒径为10~20目。

4.根据权利要求1所述硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于:步骤(2)助熔剂为氧化物、氟化物、氯化物和/或复合氟化物。

5.根据权利要求1所述硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于:步骤(3)固态硅废料与造渣剂的质量比为1:(0.5~1.2)。

6.根据权利要求1所述硅切割废料的回收与提纯方法,其特征在于:步骤(3)固态硅废料与造渣剂混合均匀后装在石墨坩埚中,再置于中频感应炉中。