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1. WO2021069598 - GASAUSLASSORGAN EINES CVD-REAKTORS


Haftungsausschluss Als offizielle Version gilt die auf PATENTSCOPE verfügbare Version im Bildformat (PDF). Diese Online-Version im html-Format dient als zusätzliche Nutzungshilfe. Bei der Zusammenstellung der gedruckten Unterlagen/Bilder wurde mit größter Sorgfalt vorgegangen, um die genaue und zuverlässige Darstellung der darin enthaltenen Daten zu gewährleisten. Dennoch können im Zuge der Datenübermittlung und -konvertierung sowie aufgrund der systembedingten Anwendungsgrenzen der (wahlweisen) maschinellen Übersetzung entstandene Fehler und/oder Auslassungen nicht ausgeschlossen werden. Mit dem Symbol versehene Hyperlinks verweisen auf externe Quellen, auf welche die WIPO keinen Einfluss hat. WIPO lehnt jede Haftung im Zusammenhang mit den obenstehenden Punkten ab.

INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
Internationales Aktenzeichen Aktenzeichen des Anmelders oder Anwalts
PCT/EP2020/078290 30323PCT
Internationales Anmeldedatum (Tag/Monat/Jahr) (Frühestes) Prioritätsdatum (Tag/Monat/Jahr)
08. Oktober 2020 10. Oktober 2019
Anmelder
AIXTRON SE
WEITERES VORGEHEN: Siehe Formblatt PCT/ISA/220 sowie, soweit zutreffend, nachstehender Punkt 5
Dieser internationale Recherchenbericht wurde von dieser Internationalen Recherchenbehörde erstellt und wird dem Anmelder gemäß Artikel 18 übermittelt. Eine Kopie wird dem Internationalen Büro übermittelt.
Darüber hinaus liegt ihm jeweils eine Kopie der in diesem Bericht genannten Unterlagen zum Stand der Technik bei.
1. Grundlage des Berichts
a. Hinsichtlich der Sprache beruht die internationale Recherche auf
der internationalen Anmeldung in der Sprache, in der sie eingereicht wurde.
einer Übersetzung der internationalen Anmeldung in die folgende Sprache                                          , bei der es sich um die Sprache der Übersetzung handelt, die für die Zwecke der internationalen Recherche eingereicht worden ist (Regeln 12.3 a) und 23.1 b)).
b.
Dieser internationale Recherchenbericht wurde erstellt unter Berücksichtigung der Berichtigung eines offensichtlichen Fehlers, die nach Regel 91 von dieser Behörde genehmigt wurde bzw. dieser Behörde mitgeteilt wurde (Regel 43.6bis a)).
c.
Hinsichtlich der Nucleotid- und/oder Aminosäuresequenz, die in der internationalen Anmeldung offenbart wurde, ist die internationale Recherche auf der Grundlage eines Sequenzprotokolls durchgeführt worden, das
2. Bestimmte Ansprüche haben sich als nicht recherchierbar erwiesen
Gemäß Artikel 17 (2) a) wurde aus folgenden Gründen für bestimmte Ansprüche kein internationaler Recherchenbericht erstellt:
1.
Ansprüche Nr.:
weil sie sich auf Gegenstände beziehen, zu deren Recherche diese Behörde nicht verpflichtet ist, nämlich
2.
Ansprüche Nr.: 16
weil sie sich auf Teile der internationalen Anmeldung beziehen, die den vorgeschriebenen Anforderungen so wenig entsprechen, dass eine sinnvolle internationale Recherche nicht durchgeführt werden kann, nämlich
Patentanspruch 16 ist in unrichtiger Weise als unabhängiger Patentanspruch formuliert, in dem er sich nur undeutlich auf einzelne Merkmale der anderen Patentansprüche 1-5 bezieht. Es wird überhaupt nicht deutlich, welche besondere Ausführungsart der beanspruchten CVD-Reaktoren beziehungsweise der beanspruchten Gasauslassorgane durch diesen Patentanspruch angegeben sein soll. Deutlichkeit im Sinne von Artikel 6 PCT liegt nicht vor, und Regel 6.3 (a) und (b) sind nicht erfüllt. Wird dieser Patentanspruch jedoch als unabhängiger Patentanspruch verstanden, so würden beliebige CVD-Reaktoren beziehungsweise beliebige Gasauslassorgane unter den Bereich des Patenanspruchs fallen, sofern sie auch nur eines der kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1-15 besäßen. Da es in der Anmeldung keine vernünftige Grundlage gibt, die klare Hinweise darauf enthält, welcher Gegenstand später im Verfahren voraussichtlich beansprucht werden könnte, war eine sinnvolle Recherche für Patentanspruch 16 überhaupt nicht möglich.
Der Anmelder wird darauf hingewiesen, dass Patentansprüche auf Erfindungen, für die kein internationaler Recherchenbericht erstellt wurde, normalerweise nicht Gegenstand einer internationalen vorläufigen Prüfung sein können (Regel 66.1(e) PCT).
In seiner Eigenschaft als mit der internationalen vorläufigen Prüfung beauftragte Behörde wird das EPA also in der Regel keine vorläufige Prüfung für Gegenstände durchführen, zu denen keine Recherche vorliegt.
Dies gilt auch für den Fall, dass die Patentansprüche nach Erhalt des internationalen Recherchenberichtes geändert wurden (Art. 19 PCT), oder für den Fall, dass der Anmelder im Zuge des Verfahrens gemäss Kapitel II PCT neue Patentansprüche vorlegt.
Nach Eintritt in die regionale Phase vor dem EPA kann jedoch im Zuge der Prüfung eine weitere Recherche durchgeführt werden (Vgl. EPA-Richtlinien C-IV, 7.2), sollten die Mängel behoben sein, die zu der Erklärung gemäss Art. 17 (2) PCT geführt haben.
3.
Ansprüche Nr.:
weil es sich dabei um abhängige Ansprüche handelt, die nicht entsprechend Satz 2 und 3 der Regel 6.4 a) abgefasst sind.
3. Mangelnde Einheitlichkeit der Erfindung
Diese Internationale Recherchenbehörde hat festgestellt, dass diese internationale Anmeldung mehrere Erfindungen enthält:
1. Ansprüche: 1, 5(vollständig); 3, 4, 7-15(teilweise)
CVD Reaktor und Gasauslassorgan zur Verwendung in einem CVD-Reaktor mit einem ringförmigen Oberteil (11) mit um eine freie Kreisfläche angeordneten Gasauslassöffnungen (7), wobei das Oberteil auf einem einen Gassammelkanal (8) ausbildenden Unterteil (12) sitzt, dadurch gekennzeichnet, dass das Oberteil (11) eine erste Schlitzwand (15) und das Unterteil (12) eine zur ersten Schlitzwand (15) parallel verlaufende zweite Schlitzwand (16) eines in Richtung zur Achse (A) der Kreisfläche offenen Schlitzes (14) ausbildet.
2. Ansprüche: 2, 6(vollständig); 3, 4, 7-15(teilweise)
CVD-Reaktor und Gasauslassorgan zur Verwendung in einem CVD-Reaktor wobei das Gasauslassorgan aufweist: eine ringförmiges Oberteil (11) mit um eine freie Kreisfläche angeordneten Gasauslassöffnungen (7), wobei das Oberteil mit einer sich parallel zur Kreisfläche erstreckenden Basisfläche (18) auf einem einen Gassammelkanal (8) ausbildenden Unterteil (12) sitzt, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prozesskammerwand (17) materialeinheitlich dem Oberteil (11) angeformt ist, welche an ihrem oberen Ende eine Schulter (19) aufweist, die in Radialeinwärtsrichtung die Gasauslassöffnungen (7) bezogen auf eine Richtung (S) parallel zu einer zentralen Achse (A) der Kreisfläche zumindest bereichsweise überragt, und die nach oben weisenden Abschnitte der Achsen (B) der Gasauslassöffnungen (7) zur Achse (A) geneigt sind.
1.
Da der Anmelder alle erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren rechtzeitig entrichtet hat, erstreckt sich dieser internationale Recherchenbericht auf alle recherchierbaren Ansprüche.
2.
Da für alle recherchierbaren Ansprüche die Recherche ohne einen Arbeitsaufwand durchgeführt werden konnte, der zusätzliche Recherchengebühren gerechtfertigt hätte, hat die Behörde nicht zur Zahlung solcher Gebühren aufgefordert.
3.
Da der Anmelder nur einige der erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren rechtzeitig entrichtet hat, erstreckt sich dieser internationale Recherchenbericht nur auf die Ansprüche, für die Gebühren entrichtet worden sind, nämlich auf die Ansprüche Nr.
4.
Der Anmelder hat die erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren nicht rechtzeitig entrichtet. Dieser internationale Recherchenbericht beschränkt sich daher auf die in den Ansprüchen zuerst erwähnte Erfindung; diese ist in folgenden Ansprüchen erfasst:
Bemerkungen hinsichtlich eines Widerspruchs
Der Anmelder hat die zusätzlichen Recherchengebühren unter Widerspruch entrichtet und die gegebenenfalls erforderliche Widerspruchsgebühr gezahlt.
Die zusätzlichen Recherchengebühren wurden vom Anmelder unter Widerspruch gezahlt, jedoch wurde die entsprechende Widerspruchsgebühr nicht innerhalb der in der Aufforderung angegebenen Frist entrichtet.
Die Zahlung der zusätzlichen Recherchengebühren erfolgte ohne Widerspruch.
4. Bezeichnung der Erfindung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut von dieser Behörde wie folgt festgesetzt:
5. Zusammenfassung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut nach Regel 38.2 in der in Feld Nr. IV angegebenen Fassung von dieser Behörde festgesetzt. Der Anmelder kann dieser Behörde innerhalb eines Monats nach dem Datum der Absendung dieses internationalen Recherchenberichts eine Stellungnahme vorlegen.
6. Zeichnungen
a.
Ist folgende Abbildung der Zeichnungen mit der Zusammenfassung zu veröffentlichen: Abb. Nr.     5    
wie vom Anmelder vorgeschlagen.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil der Anmelder selbst keine Abbildung vorgeschlagen hat.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil diese Abbildung die Erfindung besser kennzeichnet.
b.
wird keine der Abbildungen mit der Zusammenfassung veröffentlicht.

A. KLASSIFIZIERUNG DES ANMELDUNGSGEGENSTANDES

     C23C 16/44 (2006.01)i; C30B 25/12 (2006.01)i; C30B 25/14 (2006.01)i; C23C 16/455 (2006.01)i
Nach der Internationalen Patentklassifikation (IPC) oder nach der nationalen Klassifikation und der IPC

B. RECHERCHIERTE GEBIETE

Recherchierter Mindestprüfstoff (Klassifikationssystem und Klassifikationssymbole) :
     C23C; C30B
Recherchierte, aber nicht zum Mindestprüfstoff gehörende Veröffentlichungen, soweit diese unter die recherchierten Gebiete fallen :
Während der internationalen Recherche konsultierte elektronische Datenbank (Name der Datenbank und evtl. verwendete Suchbegriffe) :
EPO-Internal, WPI Data

C. ALS WESENTLICH ANGESEHENE UNTERLAGEN

Kategorie* Bezeichnung der Veröffentlichung, soweit erforderlich unter Angabe der in Betracht kommenden Teile Betr. Anspruch Nr.
(1)
Y
US 2013206066 A1 (HAN KYUNG-DON [KR] ET AL) 15. August 2013 (2013-08-15)
1,3-5,7-15
in der Anmeldung erwähnt
Abbildungen 1,4a
(2)
Y
DE 102009043848 A1 (AIXTRON AG [DE]) 03. März 2011 (2011-03-03)
1-15
Abbildung 1
(3)
Y
WO 2007076195 A2 (GENUS INC [US]; DALTON JEREMIE J [US] ET AL.) 05. Juli 2007 (2007-07-05)
2,6
Absatz [0056]; Abbildung 4a
(4)
Y
DE 102015120329 A1 (SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD [KR]) 09. Juni 2016 (2016-06-09)
2,6
Absatz [0090]
*
Besondere Kategorien von angegebenen Veröffentlichungen:
"A"
Veröffentlichung, die den allgemeinen Stand der Technik definiert, aber nicht als besonders bedeutsam anzusehen ist
"D"
Veröffentlichung, die vom Anmelder in der internationalen Anmeldung angegeben wurde
"E"
frühere Anmeldung oder Patent, die bzw. das jedoch erst am oder nach dem internationalen Anmeldedatum veröffentlicht worden ist
"L"
Veröffentlichung, die geeignet ist, einen Prioritätsanspruch zweifelhaft erscheinen zu lassen, oder durch die das Veröffentlichungsdatum einer anderen im Recherchenbericht genannten Veröffentlichung belegt werden soll oder die aus einem anderen besonderen Grund angegeben ist (wie ausgeführt)
"O"
Veröffentlichung, die sich auf eine mündliche Offenbarung, eine Benutzung, eine Ausstellung oder andere Maßnahmen bezieht
"P"
Veröffentlichung, die vor dem internationalen Anmeldedatum, aber nach dem beanspruchten Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist
"T"
Spätere Veröffentlichung, die nach dem internationalen Anmeldedatum oder dem Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist und mit der Anmeldung nicht kollidiert, sondern nur zum Verständnis des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips oder der ihr zugrundeliegenden Theorie angegeben ist
"X"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann allein aufgrund dieser Veröffentlichung nicht als neu oder auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden
"Y"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann nicht als auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden, wenn die Veröffentlichung mit einer oder mehreren Veröffentlichungen dieser Kategorie in Verbindung gebracht wird und diese Verbindung für einen Fachmann naheliegend ist
"&"
Veröffentlichung, die Mitglied derselben Patentfamilie ist

D. ANGABEN ZU VERÖFFENTLICHUNGEN, DIE ZUR SELBEN PATENTFAMILIE GEHÖREN

Im Recherchenbericht angeführtes Patentdokument Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
Mitglied(er) der Patentfamilie Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
US 2013206066 A1
15. August 2013
CN 103225072 A
KR 20130086806 A
US 2013206066 A1
31. Juli 2013
05. August 2013
15. August 2013
DE 102009043848 A1
03. März 2011
CN 102597307 A
DE 102009043848 A1
EP 2470684 A1
JP 5619164 B2
JP 2013503464 A
KR 20120066643 A
TW 201117266 A
US 2012149212 A1
WO 2011023512 A1
18. Juli 2012
03. März 2011
04. Juli 2012
05. November 2014
31. Januar 2013
22. Juni 2012
16. Mai 2011
14. Juni 2012
03. März 2011
WO 2007076195 A2
05. Juli 2007
EP 1957688 A2
JP 2009529223 A
KR 20080075179 A
WO 2007076195 A2
20. August 2008
13. August 2009
14. August 2008
05. Juli 2007
DE 102015120329 A1
09. Juni 2016
DE 102015120329 A1
KR 20160067619 A
US 2016160349 A1
09. Juni 2016
14. Juni 2016
09. Juni 2016
Name und Postanschrift der Internationalen Recherchenbehörde:
European Patent Office
P.B. 5818, Patentlaan 2, 2280 HV Rijswijk,
Niederlande
Tel.: (+31-70)340-2040
Fax: (+31-70)340-3016
Datum des tatsächlichen Abschlusses der internationalen Recherche:
09. April 2021
Absendedatum des internationalen Recherchenberichts:
20. April 2021
Bevollmächtigter Bediensteter:
Schuhmacher, Jörg
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