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1. (WO2019063468) METHOD AND ASSEMBLY FOR ANALYSING THE WAVEFRONT EFFECT OF AN OPTICAL SYSTEM



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INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
Internationales Aktenzeichen Aktenzeichen des Anmelders oder Anwalts
PCT/EP2018/075766 18 551 WO
Internationales Anmeldedatum (Tag/Monat/Jahr) (Frühestes) Prioritätsdatum (Tag/Monat/Jahr)
24. September 2018 27. September 2017
Anmelder
CARL ZEISS SMT GMBH
WEITERES VORGEHEN: Siehe Formblatt PCT/ISA/220 sowie, soweit zutreffend, nachstehender Punkt 5
Dieser internationale Recherchenbericht wurde von dieser Internationalen Recherchenbehörde erstellt und wird dem Anmelder gemäß Artikel 18 übermittelt. Eine Kopie wird dem Internationalen Büro übermittelt.
Darüber hinaus liegt ihm jeweils eine Kopie der in diesem Bericht genannten Unterlagen zum Stand der Technik bei.
1. Grundlage des Berichts
a. Hinsichtlich der Sprache beruht die internationale Recherche auf
der internationalen Anmeldung in der Sprache, in der sie eingereicht wurde.
einer Übersetzung der internationalen Anmeldung in die folgende Sprache                                          , bei der es sich um die Sprache der Übersetzung handelt, die für die Zwecke der internationalen Recherche eingereicht worden ist (Regeln 12.3 a) und 23.1 b)).
b.
Dieser internationale Recherchenbericht wurde erstellt unter Berücksichtigung der Berichtigung eines offensichtlichen Fehlers, die nach Regel 91 von dieser Behörde genehmigt wurde bzw. dieser Behörde mitgeteilt wurde (Regel 43.6bis a)).
c.
Hinsichtlich der Nucleotid- und/oder Aminosäuresequenz, die in der internationalen Anmeldung offenbart wurde, ist die internationale Recherche auf der Grundlage eines Sequenzprotokolls durchgeführt worden, das
2. Bestimmte Ansprüche haben sich als nicht recherchierbar erwiesen
3. Mangelnde Einheitlichkeit der Erfindung
Diese Internationale Recherchenbehörde hat festgestellt, dass diese internationale Anmeldung mehrere Erfindungen enthält:
1. Ansprüche: 1-14
Ein Verfahren und eine Anordnung zur Analyse der Wellenfrontwirkung eines optischen Systems.
2. Ansprüche: 15-18
Eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage.
1.
Da der Anmelder alle erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren rechtzeitig entrichtet hat, erstreckt sich dieser internationale Recherchenbericht auf alle recherchierbaren Ansprüche.
2.
Da für alle recherchierbaren Ansprüche die Recherche ohne einen Arbeitsaufwand durchgeführt werden konnte, der zusätzliche Recherchengebühren gerechtfertigt hätte, hat die Behörde nicht zur Zahlung solcher Gebühren aufgefordert.
3.
Da der Anmelder nur einige der erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren rechtzeitig entrichtet hat, erstreckt sich dieser internationale Recherchenbericht nur auf die Ansprüche, für die Gebühren entrichtet worden sind, nämlich auf die Ansprüche Nr.
4.
Der Anmelder hat die erforderlichen zusätzlichen Recherchengebühren nicht rechtzeitig entrichtet. Dieser internationale Recherchenbericht beschränkt sich daher auf die in den Ansprüchen zuerst erwähnte Erfindung; diese ist in folgenden Ansprüchen erfasst: 1-14
Bemerkungen hinsichtlich eines Widerspruchs
Der Anmelder hat die zusätzlichen Recherchengebühren unter Widerspruch entrichtet und die gegebenenfalls erforderliche Widerspruchsgebühr gezahlt.
Die zusätzlichen Recherchengebühren wurden vom Anmelder unter Widerspruch gezahlt, jedoch wurde die entsprechende Widerspruchsgebühr nicht innerhalb der in der Aufforderung angegebenen Frist entrichtet.
Die Zahlung der zusätzlichen Recherchengebühren erfolgte ohne Widerspruch.
4. Bezeichnung der Erfindung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut von dieser Behörde wie folgt festgesetzt:
5. Zusammenfassung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut nach Regel 38.2 in der in Feld Nr. IV angegebenen Fassung von dieser Behörde festgesetzt. Der Anmelder kann dieser Behörde innerhalb eines Monats nach dem Datum der Absendung dieses internationalen Recherchenberichts eine Stellungnahme vorlegen.
6. Zeichnungen
a.
Ist folgende Abbildung der Zeichnungen mit der Zusammenfassung zu veröffentlichen: Abb. Nr.     1    
wie vom Anmelder vorgeschlagen.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil der Anmelder selbst keine Abbildung vorgeschlagen hat.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil diese Abbildung die Erfindung besser kennzeichnet.
b.
wird keine der Abbildungen mit der Zusammenfassung veröffentlicht.

A. KLASSIFIZIERUNG DES ANMELDUNGSGEGENSTANDES

     G01M 11/02 (2006.01)i
Nach der Internationalen Patentklassifikation (IPC) oder nach der nationalen Klassifikation und der IPC

B. RECHERCHIERTE GEBIETE

Recherchierter Mindestprüfstoff (Klassifikationssystem und Klassifikationssymbole) :
     G01M; G01B; G03F
Recherchierte, aber nicht zum Mindestprüfstoff gehörende Veröffentlichungen, soweit diese unter die recherchierten Gebiete fallen :
Während der internationalen Recherche konsultierte elektronische Datenbank (Name der Datenbank und evtl. verwendete Suchbegriffe) :
EPO-Internal, WPI Data

C. ALS WESENTLICH ANGESEHENE UNTERLAGEN

Kategorie* Bezeichnung der Veröffentlichung, soweit erforderlich unter Angabe der in Betracht kommenden Teile Betr. Anspruch Nr.
(1)
Y
WO 2015039751 A1 (ZEISS CARL SMT GMBH [DE]) 26. März 2015 (2015-03-26)
1-14
Seite 1, Zeilen 12-25
Seite 2, Zeile 30 - Seite 4, Zeile 6
Seite 16, Zeilen 15-16
Seite 17, Zeile 16 - Seite 19, Zeile 2
Seite 20, Zeile 24 - Seite 21, Zeile 14
Seite 23, Zeilen 13-17
Seite 24, Zeilen 16-20
Seite 25, Zeilen 8-21
Abbildungen 1-13
(2)
Y
DE 102012204704 A1 (ZEISS CARL SMT GMBH [DE]) 26. September 2013 (2013-09-26)
1-14
Absatz [0080]; Abbildung 5
(3)
A
DE 102012209412 A1 (ZEISS CARL SMT GMBH [DE]) 05. Dezember 2013 (2013-12-05)
1-14
Abbildung 13
*
Besondere Kategorien von angegebenen Veröffentlichungen:
"A"
Veröffentlichung, die den allgemeinen Stand der Technik definiert, aber nicht als besonders bedeutsam anzusehen ist
"E"
frühere Anmeldung oder Patent, die bzw. das jedoch erst am oder nach dem internationalen Anmeldedatum veröffentlicht worden ist
"L"
Veröffentlichung, die geeignet ist, einen Prioritätsanspruch zweifelhaft erscheinen zu lassen, oder durch die das Veröffentlichungsdatum einer anderen im Recherchenbericht genannten Veröffentlichung belegt werden soll oder die aus einem anderen besonderen Grund angegeben ist (wie ausgeführt)
"O"
Veröffentlichung, die sich auf eine mündliche Offenbarung, eine Benutzung, eine Ausstellung oder andere Maßnahmen bezieht
"P"
Veröffentlichung, die vor dem internationalen Anmeldedatum, aber nach dem beanspruchten Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist
"T"
Spätere Veröffentlichung, die nach dem internationalen Anmeldedatum oder dem Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist und mit der Anmeldung nicht kollidiert, sondern nur zum Verständnis des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips oder der ihr zugrundeliegenden Theorie angegeben ist
"X"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann allein aufgrund dieser Veröffentlichung nicht als neu oder auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden
"Y"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann nicht als auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden, wenn die Veröffentlichung mit einer oder mehreren Veröffentlichungen dieser Kategorie in Verbindung gebracht wird und diese Verbindung für einen Fachmann naheliegend ist
"&"
Veröffentlichung, die Mitglied derselben Patentfamilie ist

D. ANGABEN ZU VERÖFFENTLICHUNGEN, DIE ZUR SELBEN PATENTFAMILIE GEHÖREN

Im Recherchenbericht angeführtes Patentdokument Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
Mitglied(er) der Patentfamilie Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
WO 2015039751 A1
26. März 2015
DE 102013218991 A1
JP 2016538576 A
US 2016202118 A1
WO 2015039751 A1
26. März 2015
08. Dezember 2016
14. Juli 2016
26. März 2015
DE 102012204704 A1
26. September 2013
CN 104204952 A
CN 108627318 A
DE 102012204704 A1
JP 6318140 B2
JP 2015517095 A
KR 20140138174 A
US 2015009492 A1
WO 2013139483 A2
10. Dezember 2014
09. Oktober 2018
26. September 2013
25. April 2018
18. Juni 2015
03. Dezember 2014
08. Januar 2015
26. September 2013
DE 102012209412 A1
05. Dezember 2013
DE 102012209412 A1
JP 6297793 B2
JP 2014003290 A
05. Dezember 2013
20. März 2018
09. Januar 2014
Name und Postanschrift der Internationalen Recherchenbehörde:
European Patent Office
P.B. 5818, Patentlaan 2, 2280 HV Rijswijk,
Niederlande
Tel.: (+31-70)340-2040
Fax: (+31-70)340-3016
Datum des tatsächlichen Abschlusses der internationalen Recherche:
16. Januar 2019
Absendedatum des internationalen Recherchenberichts:
18. März 2019
Bevollmächtigter Bediensteter:
Oppo, Carla Ivana
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