بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019063313) METROLOGY METHOD AND DEVICE
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/063313 رقم الطلب الدولي: PCT/EP2018/074841
تاريخ النشر: 04.04.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 14.09.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
ASML HOLDING N.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
المخترعون:
SHMAREV, Yevgeniy, Konstantinovich; US
PANDEY, Nitesh; NL
KOOLEN, Armand, Eugene, Albert; NL
الوكيل:
SLENDERS, Peter; NL
بيانات الأولوية:
62/565,03328.09.2017US
العنوان (EN) METROLOGY METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MÉTROLOGIE
الملخص:
(EN) An inspection apparatus, including: an objective configured to receive diffracted radiation from a metrology target having positive and negative diffraction order radiation; an optical element configured to separate the diffracted radiation into portions separately corresponding to each of a plurality of different values or types of one or more radiation characteristics and separately corresponding to the positive and negative diffraction orders; and a detector system configured to separately and simultaneously measure the portions.
(FR) La présente invention concerne un appareil d'inspection qui comprend : un objectif configuré pour recevoir un rayonnement diffracté provenant d'une cible de métrologie ayant un rayonnement doté d'un ordre de diffraction positif et négatif ; un élément optique configuré pour séparer le rayonnement diffracté en parties correspondant séparément à chaque valeur ou type d'une pluralité de valeurs ou de types différents d'une ou de plusieurs caractéristiques de rayonnement et correspondant séparément aux ordres de diffraction positif et négatif ; et un système de détection configuré pour mesurer séparément et simultanément les parties.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)