بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019063061) MATERIAL DEPOSITION ARRANGEMENT, VACUUM DEPOSITION SYSTEM AND METHODS THEREFOR
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/063061 رقم الطلب الدولي: PCT/EP2017/074358
تاريخ النشر: 04.04.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 26.09.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
C23C 14/54 (2006.01) ,C23C 16/455 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/56 (2006.01) ,H01L 51/56 (2006.01) ,C23C 14/12 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
HOFMANN, Annabelle [DE/DE]; DE (US)
SAUER, Andreas [DE/DE]; DE (US)
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
المخترعون:
HOFMANN, Annabelle; DE
SAUER, Andreas; DE
الوكيل:
ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
بيانات الأولوية:
العنوان (EN) MATERIAL DEPOSITION ARRANGEMENT, VACUUM DEPOSITION SYSTEM AND METHODS THEREFOR
(FR) AGENCEMENT POUR DÉPÔT DE MATÉRIAU, SYSTÈME DE DÉPÔT SOUS VIDE ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
الملخص:
(EN) A material deposition arrangement for depositing material on a substrate in a vacuum deposition chamber is described. The material deposition arrangement includes a first deposition source having one or more first openings; a second deposition source having one or more second openings; and a shutter arrangement having at least a first shutter configured to be movable by an angle to the one or more first openings; to the one or more second openings; and to a first park position.
(FR) La présente invention concerne un agencement pour dépôt de matériau permettant de déposer un matériau sur un substrat dans une chambre de dépôt sous vide. L'agencement de dépôt de matériau comprend une première source de dépôt ayant une ou plusieurs premières ouvertures ; une seconde source de dépôt ayant une ou plusieurs secondes ouvertures ; et un agencement d'obturateur ayant au moins un premier obturateur configuré pour être mobile d'un angle par rapport à la ou aux premières ouvertures ; à la ou aux secondes ouvertures ; et à une première position de stationnement.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)