بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019050620) AUTOMATIC CLEANING MACHINE FOR CLEANING PROCESS KITS
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/050620 رقم الطلب الدولي: PCT/US2018/041670
تاريخ النشر: 14.03.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 11.07.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
المخترعون:
NANGOY, Roy C.; US
D'AMBRA, Allen L.; US
PAPKE, Kevin A.; US
الوكيل:
PATTERSON, B. Todd; US
TABOADA, Keith; US
بيانات الأولوية:
15/784,96316.10.2017US
62/555,49207.09.2017US
العنوان (EN) AUTOMATIC CLEANING MACHINE FOR CLEANING PROCESS KITS
(FR) MACHINE DE NETTOYAGE AUTOMATIQUE POUR LE NETTOYAGE DE KITS DE TRAITEMENT
الملخص:
(EN) Disclosed herein is an apparatus for cleaning a process kit comprising a body, a cleaning source, and a control system. The body is formed from multiple modules configured to couple to, and receive therein, a process kit part. A plurality of cleaning agents may be sequentially delivered to the body in order to remove the particles disposed on the process part.
(FR) L'invention concerne un appareil permettant de nettoyer un kit de traitement comprenant un corps, une source de nettoyage et un système de commande. Le corps est constitué de multiples modules conçus pour s'accoupler à une partie de kit de traitement et recevoir celui-ci en leur sein. Une pluralité d'agents de nettoyage peut être distribuée de manière séquentielle au corps afin d'éliminer les particules disposées sur la partie de traitement.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)