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1. (WO2019046631) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
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رقم النشر: WO/2019/046631 رقم الطلب الدولي: PCT/US2018/048938
تاريخ النشر: 07.03.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 30.08.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
A61B 5/02 (2006.01) ,A61B 5/0492 (2006.01) ,A61B 17/74 (2006.01) ,G01R 1/06 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01)
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المودعون:
SAN DIEGO STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 5500 Campanile Drive SSE 1410B San Diego, CA 92182-8220, US
المخترعون:
KASSEGNE, Sanuel, K.; US
NIMBALKAR, Surabhi; US
BALASUBRAMANI, Arvind; US
الوكيل:
MATHEWS, Glen, T.; US
LISA, Adams; US
AZRIN, Linda, B.; US
AMENDT, Kevin, C.; US
BAUER, John, A.; US
بيانات الأولوية:
62/552,30430.08.2017US
العنوان (EN) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
(FR) SONDE EN CARBONE VITREUX ET PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION
الملخص:
(EN) A probe device is disclosed that includes one or more insulating layers and a glassy carbon layer. The glassy carbon layer includes one or more channels. Each channel includes a microstructure, which may include an electrode region, interconnect region, and bump pad region. The electrode region may be placed in contact with a human or animal patient or test subject and used to collect or deliver signals in applications such as electrocorticography (ECoG), electromyography (EMG), and neural stimulation. A method of making a probe includes depositing a glassy carbon precursor on a substrate, patterning the precursor using photolithography, pyrolyzing the precursor to allow the formation of glassy carbon, and depositing one or more insulating layers.
(FR) L'invention concerne un dispositif sonde qui comprend une ou plusieurs couches isolantes et une couche de carbone vitreux. La couche de carbone vitreux comprend un ou plusieurs canaux. Chaque canal comprend une microstructure, qui peut comprendre une région d'électrode, une région d'interconnexion et une région de plot en bosse. La région d'électrode peut être placée en contact avec un patient humain ou animal ou un sujet de test et utilisée pour collecter ou délivrer des signaux dans des applications telles que l'électrocorticographie (ECoG), l'électromyographie (EMG) et la stimulation neuronale. Un procédé de fabrication d'une sonde comprend le dépôt d'un précurseur de carbone vitreux sur un substrat, la formation de motifs du précurseur à l'aide de la photolithographie, la pyrolyse du précurseur pour permettre la formation de carbone vitreux, et le dépôt d'une ou de plusieurs couches isolantes.
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الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)