بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019032252) ULTRA-HIGH VACUUM TRANSPORT AND STORAGE
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/032252 رقم الطلب الدولي: PCT/US2018/042635
تاريخ النشر: 14.02.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 18.07.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, M/S CA-1 Fremont, California 94538, US
المخترعون:
PANAGOPOULOS, Theodoros; US
GOULD, Richard; US
REYES, Edmundo; US
BONIFACE, John; US
BERRY, Ivan; US
DULKIN, Alexander; US
VAN SCHRAVENDIJK, Bart; US
الوكيل:
LEE, Michael; US
بيانات الأولوية:
15/674,88311.08.2017US
العنوان (EN) ULTRA-HIGH VACUUM TRANSPORT AND STORAGE
(FR) TRANSPORT ET STOCKAGE SOUS ULTRAVIDE
الملخص:
(EN) An apparatus for transporting or storing at least one semiconductor wafer in an ultra-high vacuum is provided. A portable vacuum transfer pod is provided comprising an internal wafer storage chamber for storing one or more wafers and a wafer support for supporting at least one wafer within the internal wafer storage chamber. A passively capable vacuum pump capable of passive vacuum pumping is in fluid connection with the internal wafer storage chamber and is mechanically connected to the portable vacuum transfer pod. A shut off valve for opening and closing the fluid connection is between the passively capable vacuum pump and the internal wafer storage chamber.
(FR) L'invention concerne un appareil de transport ou de stockage d'au moins une tranche de semi-conducteur sous ultravide. Une capsule de transfert sous vide transportable comprend une chambre interne de stockage de tranches permettant de stocker une ou plusieurs tranches et un support de tranches destiné à supporter au moins une tranche à l'intérieur de la chambre interne de stockage de tranches. Une pompe à vide à capacité passive permettant un pompage passif de vide est en communication fluidique avec la chambre interne de stockage de tranches et est reliée mécaniquement à la capsule de transfert sous vide transportable. Une vanne d'isolement permettant d'ouvrir et de fermer la connexion fluidique est située entre la pompe à vide à capacité passive et la chambre interne de stockage de tranches.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)