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1. (WO2019028064) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
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رقم النشر: WO/2019/028064 رقم الطلب الدولي: PCT/US2018/044671
تاريخ النشر: 07.02.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 31.07.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01S 3/10 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
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المودعون:
IPG PHOTONICS CORPORATION [US/US]; 50 Old Webster Road Oxford, MA 01540, US
المخترعون:
LIMANOV, Alexander; US
VON DADELSZEN, Michael; US
CORDINGLEY, James; US
SCHOENLY, Joshua; US
الوكيل:
KATESHOV, Yuri; US
بيانات الأولوية:
62/539,18331.07.2017US
62/549,25423.08.2017US
العنوان (EN) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
(FR) APPAREIL LASER À FIBRE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE PIÈCE
الملخص:
(EN) A surface treating method and apparatus include operating a quasi-continuous wave fiber laser and pre-scan shaping the laser beam such that an instantaneous spot beam has predetermined geometrical dimensions, intensity profile, and power; operating a scanner at an optimal angular velocity and angular range to divide the pre-scan beam into a plurality of sub-beams deflected towards the surface being processed; guiding the sub-beams through a post-scan optical assembly to provide the spot beam with predetermined geometrical dimensions, power, and angular velocity and range, which are selected such that the instantaneous spot beam is dragged in a scan direction over a desired length at a desired scan velocity, which allow the treated surface to be exposed for a predetermined exposure duration and have a predetermined fluence distribution providing the treated surface with a quality comparable to that of the surface processed by an excimer laser or a burst-mode fiber laser.
(FR) L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un appareil de traitement de surface qui comprend l'exploitation d'un laser à fibre à onde quasi-continue et la mise en forme pré-balayage du faisceau laser de manière qu'un faisceau ponctuel instantané présente des dimensions géométriques, un profil d'intensité et une puissance prédéterminés ; l'exploitation d'un dispositif de balayage à une vitesse angulaire et dans une plage angulaire optimales pour diviser le faisceau pré-balayage en une pluralité de sous-faisceaux déviés vers la surface soumise au traitement ; le guidage des sous-faisceaux à travers un ensemble optique post-balayage pour conférer au faisceau ponctuel des dimensions géométriques, une puissance, et une vitesse et une plage angulaires prédéterminées, qui sont sélectionnées de manière que le faisceau ponctuel instantané soit entraîné dans une direction de balayage sur une longueur souhaitée à une vitesse de balayage souhaitée, qui permettent à la surface traitée d'être exposée pendant une durée d'exposition prédéterminée et d'avoir une distribution de fluence prédéterminée conférant à la surface traitée une qualité comparable à celle de la surface traitée par un laser à excimère ou un laser à fibre en mode rafale.
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)