بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019009054) SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM, SUBSTRATE CLEANING METHOD, AND STORAGE MEDIUM
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/009054 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2018/023178
تاريخ النشر: 10.01.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 19.06.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/304 (2006.01)
Description not available in lang ar
المودعون:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
المخترعون:
菅野 至 KANNO, Itaru; JP
関口 賢治 SEKIGUCHI, Kenji; JP
相原 明徳 AIBARA, Meitoku; JP
緒方 信博 OGATA, Nobuhiro; JP
الوكيل:
特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
بيانات الأولوية:
2017-13048303.07.2017JP
العنوان (EN) SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM, SUBSTRATE CLEANING METHOD, AND STORAGE MEDIUM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE SUBSTRAT, ET SUPPORT DE STOCKAGE
(JA) 基板処理システム、基板洗浄方法および記憶媒体
الملخص:
(EN) The substrate treatment system according to an embodiment of the present invention is provided with a holding unit, a peeling solution supply unit, and a dissolving solution supply unit. The holding unit holds a substrate, on which a treatment film containing a phenol resin is formed, said phenol resin being soluble in organic solvents. The peeling solution supply unit supplies the treatment film with a peeling solution that peels the treatment film from the substrate. The dissolving solution supply unit supplies the treatment film with a dissolving solution that dissolves the treatment film.
(FR) Un système de traitement de substrat selon un mode de réalisation de la présente invention comporte une unité de maintien, une unité d'alimentation en solution de pelage et une unité d'alimentation en solution de dissolution. L'unité de maintien maintient un substrat, sur lequel est formé un film de traitement contenant une résine phénolique, ladite résine phénolique étant soluble dans des solvants organiques. L'unité d'alimentation en solution de pelage fournit le film de traitement à une solution de pelage qui détache le film de traitement du substrat. L'unité d'alimentation en solution de dissolution fournit le film de traitement avec une solution de dissolution qui dissout le film de traitement.
(JA) 実施形態に係る基板処理システムは、保持部と、剥離処理液供給部と、溶解処理液供給部とを備える。保持部は、有機溶媒に可溶なフェノール樹脂を含有する処理膜が形成された基板を保持する。剥離処理液供給部は、処理膜を基板から剥離させる剥離処理液を処理膜に対して供給する。溶解処理液供給部は、処理膜を溶解させる溶解処理液を処理膜に対して供給する。
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: ياباني (JA)
لغة الإيداع: ياباني (JA)