بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2019003677) GRINDING APPARATUS AND GRINDING METHOD
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2019/003677 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2018/018732
تاريخ النشر: 03.01.2019 تاريخ الإيداع الدولي: 15.05.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/205 (2006.01) ,B24B 7/18 (2006.01) ,B24B 27/033 (2006.01) ,C23C 16/44 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
昭和電工株式会社 SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目13番9号 13-9, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518, JP
المخترعون:
深田 啓介 FUKADA Keisuke; JP
石橋 直人 ISHIBASHI Naoto; JP
الوكيل:
及川 周 OIKAWA Shu; JP
荒 則彦 ARA Norihiko; JP
勝俣 智夫 KATSUMATA Tomoo; JP
بيانات الأولوية:
2017-12927830.06.2017JP
العنوان (EN) GRINDING APPARATUS AND GRINDING METHOD
(FR) APPAREIL DE MEULAGE ET PROCÉDÉ DE MEULAGE
(JA) 研削装置および研削方法
الملخص:
(EN) A grinding apparatus (100) of the present invention has: a susceptor (101) for a film-forming substrate arranged inside a film formation chamber (11); a grinding member (102) configured by a flat plate-shaped base (102A) and a protruding part (102B) formed on the surface thereof; a conveyance means (103) for conveying the grinding member (102) to be mounted on the susceptor (101); and a rotation means (104) for rotating the susceptor (101) around a central axis (101c). So that one main surface of the base (102A) faces opposite the susceptor (101), in a state with the grinding member (102) mounted on the susceptor (101), when the susceptor (101) and the grinding member (102) are seen in plan view, the outermost peripheral part of the grinding member (102) is at the outside of the outermost peripheral part of the susceptor (101).
(FR) Un appareil de meulage (100) de la présente invention comprend : un suscepteur (101) pour un substrat de formation de film disposé à l'intérieur d'une chambre de formation de film (11); un élément de meulage (102) configuré par une base en forme de plaque plate (102A) et une partie en saillie (102B) formée sur sa surface; un moyen de transport (103) pour transporter l'élément de meulage (102) à monter sur le suscepteur (101); et un moyen de rotation (104) pour faire tourner le suscepteur (101) autour d'un axe central (101c). De telle sorte qu'une surface principale de la base (102A) fait face au suscepteur (101), dans un état avec l'élément de meulage (102) monté sur le suscepteur (101), lorsque le suscepteur (101) et l'élément de meulage (102) sont vus en vue en plan, la partie périphérique la plus à l'extérieur de l'élément de meulage (102) se trouve à l'extérieur de la partie périphérique la plus à l'extérieur du suscepteur (101).
(JA) 本発明の研削装置(100)は、成膜室(11)内に配される被成膜基板用のサセプタ(101)と、平板状の基部(102A)とその表面に形成された凸部(102B)とで構成される研削部材(102)と、研削部材(102)を、サセプタ(101)に載置されるように搬送する搬送手段(103)と、サセプタ(101)を中心軸(101c)の周りに回転させる回転手段(104)と、を有し、基部(102A)の片方の主面がサセプタ(101)と対向するように、研削部材(102)がサセプタ(101)に載置された状態において、サセプタ(101)および研削部材(102)を平面視した場合に、研削部材(102)の最外周部が、サセプタ(101)の最外周部の外側にある。
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: ياباني (JA)
لغة الإيداع: ياباني (JA)