بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2018183096) CARE AREAS FOR IMPROVED ELECTRON BEAM DEFECT DETECTION
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2018/183096 رقم الطلب الدولي: PCT/US2018/023910
تاريخ النشر: 04.10.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 23.03.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/66 (2006.01)
Description not available in lang ar
المودعون:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
المخترعون:
ANANTHA, Vidyasagar; IN
YATI, Arpit; IN
PARAMASIVAM, Saravanan; IN
PLIHAL, Martin; US
LIN, Jincheng; CN
الوكيل:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N; US
بيانات الأولوية:
15/639,31130.06.2017US
62/477,27027.03.2017US
العنوان (EN) CARE AREAS FOR IMPROVED ELECTRON BEAM DEFECT DETECTION
(FR) ZONES DE SOINS PERMETTANT UNE DÉTECTION DE DÉFAUT DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS AMÉLIORÉE
الملخص:
(EN) Use of care areas in scanning electron microscopes or other review tools can provide improved sensitivity and throughput. A care area is received at a controller of a scanning electron microscope from, for example, an inspector tool. The inspector tool may be a broad band plasma tool. The care area is applied to a field of view of a scanning electron microscope image to identify at least one area of interest. Defects are detected only within the area of interest using the scanning electron microscope. The care areas can be design-based or some other type of care area. Use of care areas in SEM tools can provide improved sensitivity and throughput.
(FR) L'utilisation de zones de soins dans des microscopes électroniques à balayage ou dans d'autres outils d'examen peut permettre une sensibilité et un rendement améliorés. Une zone de soins est reçue au niveau d'un contrôleur d'un microscope électronique à balayage, par exemple en provenance d'un outil d'inspection. L'outil d'inspection peut être un outil à plasma à bande large. La zone de soins est appliquée à un champ de vision d'une image du microscope électronique à balayage de façon à identifier au moins une zone d'intérêt. Des défauts ne sont détectés que dans la zone d'intérêt à l'aide du microscope électronique à balayage. Les zones de soins peuvent être basées sur la conception ou d'un autre type de zone de soins. L'utilisation de zones de soins dans des outils à MEB peut permettre une sensibilité et un rendement améliorés.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)