بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2018159190) INSPECTION SYSTEM AND MALFUNCTION ANALYSIS/PREDICTION METHOD FOR INSPECTION SYSTEM
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2018/159190 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2018/002934
تاريخ النشر: 07.09.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 30.01.2018
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
المخترعون:
加賀美 徹也 KAGAMI Tetsuya; JP
الوكيل:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
بيانات الأولوية:
2017-03945802.03.2017JP
العنوان (EN) INSPECTION SYSTEM AND MALFUNCTION ANALYSIS/PREDICTION METHOD FOR INSPECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'ANALYSE/PRÉDICTION DE DYSFONCTIONNEMENT POUR SYSTÈME D'INSPECTION
(JA) 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法
الملخص:
(EN) An inspection device (100) having: a prober (200) that has a stage (26) holding a substrate (W) having a plurality of devices formed thereupon, a transport unit (22) that transports the substrate (W) to the stage (26), and a probe card (25) that causes a plurality of probes 25a to come in contact with electrodes in the plurality of devices upon the substrate (W); a tester (300) that applies an electric signal to the plurality of devices upon the substrate (W) via the probe card (25) and inspects the electrical characteristics of the devices; and a malfunction analysis/prediction unit (400) that, when a malfunction has occurred during inspection or a sign indicates a stage prior to a malfunction, analyzes history information for the prober (200) and tester (300) related to that malfunction and ascertains or predicts the location of the malfunction.
(FR) Cette invention concerne un dispositif d'inspection (100), comprenant : un sondeur (200) qui a un étage (26) supportant un substrat (W) ayant une pluralité de dispositifs formés sur celui-ci, une unité de transport (22) qui transporte le substrat (W) vers l'étage (26), et une carte sonde (25) qui amène une pluralité de sondes (25a) à venir en contact avec des électrodes dans la pluralité de dispositifs sur le substrat (W) ; un testeur (300) qui applique un signal électrique à la pluralité de dispositifs sur le substrat (W) par l'intermédiaire de la carte sonde (25) et inspecte les caractéristiques électriques des dispositifs ; et une unité d'analyse/prédiction de dysfonctionnement (400) qui, lorsqu'un dysfonctionnement s'est produit pendant l'inspection ou un signe indique une étape précédant un dysfonctionnement, analyse des informations d'historique pour le sondeur (200) et le testeur (300) associées à ce dysfonctionnement et détermine ou prédit l'emplacement du dysfonctionnement.
(JA) 検査装置(100)は、複数のデバイスが形成された基板Wを保持するステージ(26)と、基板(W)をステージ(26)に搬送する搬送部(22)と、複数のプローブ25aを基板(W)上の複数のデバイスの電極に接触させるプローブカード(25)とを有するプローバ(200)と、プローブカード(25)を介して基板(W)上の複数のデバイスに電気的信号を与え、デバイスの電気特性を検査するテスタ(300)と、検査の際に故障が発生したとき、または故障の前段階の兆候が発生したときに、その故障に関連するプローバ(200)とテスタ(300)の履歴情報を解析して故障の箇所を把握または予知する故障解析・予知処理部(400)とを有する。
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: ياباني (JA)
لغة الإيداع: ياباني (JA)