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1. (WO2018063851) MULTIPLE DIAMETER IN-VACUUM WAFER HANDLING
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رقم النشر: WO/2018/063851 رقم الطلب الدولي: PCT/US2017/052155
تاريخ النشر: 05.04.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 19.09.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
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المودعون:
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; ATTN: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915, US
المخترعون:
WEED, Allan; US
بيانات الأولوية:
15/281,60030.09.2016US
العنوان (EN) MULTIPLE DIAMETER IN-VACUUM WAFER HANDLING
(FR) MANIPULATION DE TRANCHE SOUS VIDE À DIAMÈTRE MULTIPLE
الملخص:
(EN) An electrostatic chuck and gripping system are configured for clamping and processing workpieces having differing diameters. An ion implantation apparatus selectively provides ions to a first workpiece and a second workpiece in a process chamber, where a diameter of the first workpiece is greater the second workpiece. A chuck supports the respective first or second workpiece within the process chamber during exposure to the ions. A load lock chamber isolates a process environment from an external environment and has a workpiece support for the respective first or second workpiece during a transfer of the first or second workpiece between the process chamber and the external environment. A vacuum robot transfers the first or second workpiece between the chuck and workpiece support, and has a gripper mechanism configured to selectively grip the first or second workpiece between a plurality of stepped guides.
(FR) Un mandrin électrostatique et un système de préhension sont configurés pour serrer et traiter des pièces à travailler ayant des diamètres différents. Un appareil d'implantation ionique fournit sélectivement des ions à une première pièce à travailler et à une seconde pièce à travailler dans une chambre de traitement,le diamètre de la première pièce à travailler étant supérieur à la seconde pièce à travailler. Un mandrin supporte la première ou la seconde pièce à travailler respective à l'intérieur de la chambre de traitement pendant l'exposition aux ions. Une chambre de verrouillage de charge isole un environnement de traitement d'un environnement externe et comporte un support de pièce à travailler pour la première ou la seconde pièce à travailler respective pendant un transfert de la première ou de la seconde pièce à travailler entre la chambre de traitement et l'environnement externe. Un robot sous vide transfère la première ou la seconde pièce à travailler entre le mandrin et le support de pièce à travailler, et a un mécanisme de préhension configuré pour saisir de manière sélective la première ou la seconde pièce à travailler entre une pluralité de guides étagés.
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الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)