بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2018063625) DIRECT FOCUSING WITH IMAGE BINNING IN METROLOGY TOOLS
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2018/063625 رقم الطلب الدولي: PCT/US2017/048746
تاريخ النشر: 05.04.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 25.08.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
G06T 7/00 (2006.01) ,G02B 21/36 (2006.01) ,G02B 21/24 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
المخترعون:
GUTMAN, Nadav; IL
GOLOVANEVSKY, Boris; IL
GLUZER, Noam; IL
الوكيل:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
بيانات الأولوية:
62/400,96628.09.2016US
العنوان (EN) DIRECT FOCUSING WITH IMAGE BINNING IN METROLOGY TOOLS
(FR) FOCALISATION DIRECTE AVEC COMPARTIMENTAGE D'IMAGE DANS DES OUTILS DE MÉTROLOGIE
الملخص:
(EN) Focusing methods and modules are provided for metrology tools and systems. Methods comprise capturing image(s) of at least two layers of a ROI in an imaging target, binning the captured image(s), deriving a focus shift from the binned captured image(s) by comparing the layers, and calculating a focus position from the derived focus shift. Disclosed methods are direct, may be carried out in parallel to a part of the overlay measurement process and provide fast and simple focus measurements that improve metrology performance.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des modules de focalisation pour des outils et des systèmes de métrologie. Les procédés comprennent la capture d'une ou de plusieurs images d'au moins deux couches d'une région d'intérêt dans une cible d'imagerie, le compartimentage de l'image ou des images capturées, l'obtention d'un décalage de foyer à partir de l'image ou des images capturées compartimentées en comparant les couches, et le calcul d'une position de foyer à partir du décalage de foyer obtenu. Les procédés selon l'invention sont directs, peuvent être réalisés en parallèle à une partie du processus de mesure de superposition et fournissent des mesures de foyer rapides et simples qui améliorent les performances de métrologie.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)