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1. (WO2018058896) FREQUENCY STABILIZATION DEVICE AND METHOD FOR LASER INTERFEROMETER
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رقم النشر: WO/2018/058896 رقم الطلب الدولي: PCT/CN2017/075823
تاريخ النشر: 05.04.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 07.03.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
G01B 9/02 (2006.01) ,H01S 3/137 (2006.01)
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المودعون:
深圳市中图仪器股份有限公司 CHOTEST TECHNOLOGY INC. [CN/CN]; 中国广东省深圳市 南山区西丽街道学苑大道1001号南山智园B1栋2楼 2nd Floor, Building B1, Nanshan Zhiyuan, No.1001 Xueyuan Road, Xili Street, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518071, CN
المخترعون:
刘龙为 LIU, Longwei; CN
张和君 ZHANG, Hejun; CN
الوكيل:
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) SZ KINDWALF INTELLECTUAL PROPERTY FIRM; 中国广东省深圳市 南山区深南西路深南花园裙楼A区四层402室 Room 402, 4/F, Business Section A, Shennan Garden, Shennan West Road, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518057, CN
بيانات الأولوية:
201610854014.927.09.2016CN
العنوان (EN) FREQUENCY STABILIZATION DEVICE AND METHOD FOR LASER INTERFEROMETER
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE STABILISATION DE FRÉQUENCE POUR INTERFÉROMÈTRE À LASER
(ZH) 一种激光干涉仪用的稳频装置和方法
الملخص:
(EN) Disclosed is a frequency stabilization device for a laser interferometer, comprising a circuit control system (9), a laser (2), a guiding light path, a frequency stabilization light path and a laser output light path. The guiding light path guides light emitted from the laser (2) to the frequency stabilization light path. The frequency stabilization light path comprises a first spectroscope (5), a second spectroscope (7) and a photoelectric cell (8). By means of the frequency stabilization and spectroscopic design, the proportion of light for frequency stabilization in the laser (2) is very small, so the energy loss of the frequency stabilization part is very low, thereby significantly increasing the laser intensity for working. The design of the angle and size of the first spectroscope (5) can significantly reduce the influence of stray light on frequency stabilization accuracy. In the present invention, the frequency stabilization and spectroscopic regulation is more convenient, the structure is simple and practicable, and the structure is compact and mechanical encapsulation is easy, and using symmetrical optical and electronic design can guarantee the accuracy and reliability of frequency stabilization data.
(FR) L'invention concerne un dispositif de stabilisation de fréquence pour un interféromètre à laser, comprenant un système de commande de circuit (9), un laser (2), un trajet de lumière de guidage, un trajet de lumière de stabilisation de fréquence et un trajet de lumière de sortie laser. Le trajet de lumière de guidage guide la lumière émise par le laser (2) vers le trajet de lumière de stabilisation de fréquence. Le trajet de lumière de stabilisation de fréquence comprend un premier spectroscope (5), un second spectroscope (7) et une cellule photoélectrique (8). Au moyen de la stabilisation de fréquence et de la conception spectroscopique, la proportion de lumière pour la stabilisation de fréquence dans le laser (2) est très faible, de telle sorte que la perte d'énergie de la partie de stabilisation de fréquence est très faible, ce qui permet d'augmenter de manière significative l'intensité du laser pour le travail. La conception de l'angle et de la taille du premier spectroscope (5) peut réduire de manière significative l'influence de la lumière parasite sur la précision de stabilisation de fréquence. Dans la présente invention, la stabilisation de fréquence et la régulation spectroscopique sont plus commodes, la structure est simple et pratique, et la structure est compacte et l'encapsulation mécanique est facile, et l'utilisation d'une conception optique et électronique symétrique peut garantir la précision et la fiabilité des données de stabilisation de fréquence.
(ZH) 一种激光干涉仪用的稳频装置,包括电路控制系统(9)、激光器(2)、导向光路、稳频光路和激光输出光路,其中,导向光路将激光器(2)射出的光导向到稳频光路,稳频光路包括第一分光镜(5)、第二分光镜(7)和光电池(8)。通过稳频分光的设计,使得激光器(2)中用于稳频的光所占比例非常少,使得稳频部分的能量损失极小,极大的增加了用于工作的激光强度,并且第一分光镜(5)的角度和尺寸的设计可以大大减少杂散光对稳频精度的影响;稳频分光调节更为方便,结构简单易行,并且结构紧凑,易于机械封装;采用对称的光学和电子设计,可以确保稳频数据的精度和可靠性。
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