بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2018042897) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدوليتقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2018/042897 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2017/025365
تاريخ النشر: 08.03.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 12.07.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
H01J 37/20 (2006.01) ,B23Q 1/72 (2006.01) ,G12B 5/00 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
المخترعون:
高橋 宗大 TAKAHASHI Motohiro; JP
水落 真樹 MIZUOCHI Masaki; JP
中川 周一 NAKAGAWA Shuichi; JP
小川 博紀 OGAWA Hironori; JP
加藤 孝宜 KATO Takanori; JP
الوكيل:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
بيانات الأولوية:
2016-16747630.08.2016JP
العنوان (EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
الملخص:
(EN) The present invention relates to a charged particle beam device wherein a table deformation arising from the movement of a rolling element from a guide can be suppressed via a simple constitution. Provided in the sample stage containing a table (105) and a linear guide, which comprises a carriage (201), a rolling element, and a guide rail (202), is a distortion-insulating guide structure characterized by the connection between the carriage (201) and the table (105) being mediated by an adapter (401) that is an elastic deformable member. The invention also provides a stage using the guide structure and a charged particle beam device using the stage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une déformation de table résultant du mouvement d'un élément roulant à partir d'un guide peut être supprimée par l'intermédiaire d'une constitution simple. Dans l'étage d'échantillon contenant une table (105) et un guide linéaire, qui comprend un chariot (201), un élément roulant et un rail de guidage (202), se trouve une structure de guidage d'isolation de distorsion caractérisée par le fait que la liaison entre le chariot (201) et la table (105) est médiée par un adaptateur (401) qui est un élément déformable élastique. L'invention concerne également un étage utilisant la structure de guidage et un dispositif de faisceau de particules chargées utilisant l'étage.
(JA) 本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置に関するものであって、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (الأريبو) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
المكتب الأوروبي الآسيوي للبراءات (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: ياباني (JA)
لغة الإيداع: ياباني (JA)