قيد المعالجة

الرجاء الانتظار...

الإعدادات

الإعدادات

1. WO2018042897 - STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

رقم النشر WO/2018/042897
تاريخ النشر 08.03.2018
رقم الطلب الدولي PCT/JP2017/025365
‫‫‫‫‫‫‫‫‫تاريخ الإيداع الدولي‬‬‬‬‬‬‬‬‬ 12.07.2017
التصنيف الدولي للبراءات
Description not available in lang ar
Description not available in lang ar
Description not available in lang ar
H01J 37/20 (2006.01)
B23Q 1/72 (2006.01)
G12B 5/00 (2006.01)
التصنيف التعاوني للبراءات
B23Q 1/72
F16C 2322/39
F16C 2380/18
F16C 29/001
F16C 29/004
F16C 29/04
مودعي الطلبات
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
المخترعين
  • 高橋 宗大 TAKAHASHI Motohiro; JP
  • 水落 真樹 MIZUOCHI Masaki; JP
  • 中川 周一 NAKAGAWA Shuichi; JP
  • 小川 博紀 OGAWA Hironori; JP
  • 加藤 孝宜 KATO Takanori; JP
الوكلاء
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
بيانات الأولوية
2016-16747630.08.2016JP
لغة النشر اليابانية (JA)
لغة إيداع الطلب اليابانية (JA)
الدول المعيّنة
الاسم
(EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
الملخص
(EN)
The present invention relates to a charged particle beam device wherein a table deformation arising from the movement of a rolling element from a guide can be suppressed via a simple constitution. Provided in the sample stage containing a table (105) and a linear guide, which comprises a carriage (201), a rolling element, and a guide rail (202), is a distortion-insulating guide structure characterized by the connection between the carriage (201) and the table (105) being mediated by an adapter (401) that is an elastic deformable member. The invention also provides a stage using the guide structure and a charged particle beam device using the stage.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une déformation de table résultant du mouvement d'un élément roulant à partir d'un guide peut être supprimée par l'intermédiaire d'une constitution simple. Dans l'étage d'échantillon contenant une table (105) et un guide linéaire, qui comprend un chariot (201), un élément roulant et un rail de guidage (202), se trouve une structure de guidage d'isolation de distorsion caractérisée par le fait que la liaison entre le chariot (201) et la table (105) est médiée par un adaptateur (401) qui est un élément déformable élastique. L'invention concerne également un étage utilisant la structure de guidage et un dispositif de faisceau de particules chargées utilisant l'étage.
(JA)
本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置に関するものであって、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。
منشور أيضا كـ
أحدث البيانات الببليوغرافية المسجلة لدى المكتب الدولي