بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2018030236) DEPOSIT REMOVING METHOD
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي    تقديم ملاحظات

رقم النشر: WO/2018/030236 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2017/028071
تاريخ النشر: 15.02.2018 تاريخ الإيداع الدولي: 02.08.2017
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/31 (2006.01) ,B24C 1/08 (2006.01) ,B24C 11/00 (2006.01) ,C23C 16/44 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
新東工業株式会社 SINTOKOGIO, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市中村区名駅三丁目28番12号 28-12, Meieki 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4506424, JP
المخترعون:
西嶋 仁 NISHIJIMA Hitoshi; JP
澁谷 紀仁 SHIBUYA Norihito; JP
الوكيل:
田中 伸一郎 TANAKA Shinichiro; JP
弟子丸 健 DESHIMARU Takeshi; JP
▲吉▼田 和彦 YOSHIDA Kazuhiko; JP
松下 満 MATSUSHITA Mitsuru; JP
倉澤 伊知郎 KURASAWA Ichiro; JP
山本 泰史 YAMAMOTO Yasufumi; JP
بيانات الأولوية:
2016-15624509.08.2016JP
2017-05221917.03.2017JP
2017-05222017.03.2017JP
العنوان (EN) DEPOSIT REMOVING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE RETRAIT DE DÉPÔTS
(JA) 付着物除去方法
الملخص:
(EN) Provided is a method for efficiently removing deposits including hard deposits adhered to a jig in a film-forming process using crystal growth while suppressing the damage to the jig. This deposit removing method includes: a step of preparing a spray material having a lower hardness than the jig; a step of spraying the spray material toward the jig; and a step of forming a breaking start point at a crystal grain boundary of the deposit when the spray material collides with the jig, and detaching the deposit from the crystal grain boundary by allowing the spray material to further collide with the jig.
(FR) L'invention concerne un procédé de retrait efficace de dépôts incluant des dépôts durs collés à un bâti dans un processus de formation de pellicule utilisant la croissance de cristaux tout en évitant d'endommager le bâti. Ce procédé de retrait de dépôts consiste : en une étape de préparation d'un matériau de pulvérisation dont la dureté est inférieure à celle du bâti; en une étape de pulvérisation du matériau de pulvérisation vers le bâti; et en une étape de formation d'un point de départ de rupture à une limite de grains de cristaux du dépôt lorsque le matériau de pulvérisation entre en collision avec le bâti, et de détachement du dépôt de la limite de grains de cristaux en permettant au matériau de pulvérisation d'entrer encore en collision avec le bâti.
(JA) 結晶成長による成膜プロセスにおいて治具に付着する付着物を、治具の損傷を低減し、効率よく硬質の付着物の除去する方法を提供する。 この付着物除去方法は、前記治具より硬度が低い噴射材を用意する工程と、前記噴射材を前記治具に向けて噴射する工程と、前記噴射材が前記治具に衝突したときに前記付着物の結晶粒界で破壊の起点を形成し、前記噴射材をさらに衝突させて前記付着物を結晶粒界で脱離させる工程と、を含む。
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: ياباني (JA)
لغة الإيداع: ياباني (JA)