قيد المعالجة

الرجاء الانتظار...

الإعدادات

الإعدادات

1. WO2017092995 - OPTICAL SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE SYSTEM OR OF A WAFER INSPECTION SYSTEM


إنذار الإصدار المصور (PDF) المتاح في ركن البراءات الإلكتروني هو الإصدار الرسمي. يتاح هذا الإصدار في نسق html على الإنترنت لمساعدة المستخدمين. بالرغم من العناية الكبيرة التي أوليت لعملية التجميع بغية ضمان تمثيل دقيق ومضبوط للبيانات التي تتضمنها الوثيقة المطبوعة أو الصور، لا يمكن استبعاد حدوث أخطاء أو سهو نتيجة إجراءات إرسال البيانات وتحويلها، وطبيعة القيود التي تفرضها عمليات الترجمة الآلية التي يمكن أن تستخدم (اختيارياً). إن روابط البحث المتبوعة بالرمز هي موارد خارجية لا تتحكم فيها الويبو. تخلي الويبو أية مسؤولية بشأن النقاط السابق ذكرها.

INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
Internationales Aktenzeichen Aktenzeichen des Anmelders oder Anwalts
PCT/EP2016/077210 16 578 WO
Internationales Anmeldedatum (Tag/Monat/Jahr) (Frühestes) Prioritätsdatum (Tag/Monat/Jahr)
10. November 2016 02. Dezember 2015
Anmelder
CARL ZEISS SMT GMBH
WEITERES VORGEHEN: Siehe Formblatt PCT/ISA/220 sowie, soweit zutreffend, nachstehender Punkt 5
Dieser internationale Recherchenbericht wurde von dieser Internationalen Recherchenbehörde erstellt und wird dem Anmelder gemäß Artikel 18 übermittelt. Eine Kopie wird dem Internationalen Büro übermittelt.
Darüber hinaus liegt ihm jeweils eine Kopie der in diesem Bericht genannten Unterlagen zum Stand der Technik bei.
1. Grundlage des Berichts
a. Hinsichtlich der Sprache beruht die internationale Recherche auf
der internationalen Anmeldung in der Sprache, in der sie eingereicht wurde.
einer Übersetzung der internationalen Anmeldung in die folgende Sprache                                          , bei der es sich um die Sprache der Übersetzung handelt, die für die Zwecke der internationalen Recherche eingereicht worden ist (Regeln 12.3 a) und 23.1 b)).
b.
Dieser internationale Recherchenbericht wurde erstellt unter Berücksichtigung der Berichtigung eines offensichtlichen Fehlers, die nach Regel 91 von dieser Behörde genehmigt wurde bzw. dieser Behörde mitgeteilt wurde (Regel 43.6bis a)).
c.
Hinsichtlich der Nucleotid- und/oder Aminosäuresequenz, die in der internationalen Anmeldung offenbart wurde, ist die internationale Recherche auf der Grundlage eines Sequenzprotokolls durchgeführt worden, das
2. Bestimmte Ansprüche haben sich als nicht recherchierbar erwiesen
3. Mangelnde Einheitlichkeit der Erfindung
4. Bezeichnung der Erfindung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut von dieser Behörde wie folgt festgesetzt:
5. Zusammenfassung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut nach Regel 38.2 in der in Feld Nr. IV angegebenen Fassung von dieser Behörde festgesetzt. Der Anmelder kann dieser Behörde innerhalb eines Monats nach dem Datum der Absendung dieses internationalen Recherchenberichts eine Stellungnahme vorlegen.
6. Zeichnungen
a.
Ist folgende Abbildung der Zeichnungen mit der Zusammenfassung zu veröffentlichen: Abb. Nr.     1    
wie vom Anmelder vorgeschlagen.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil der Anmelder selbst keine Abbildung vorgeschlagen hat.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil diese Abbildung die Erfindung besser kennzeichnet.
b.
wird keine der Abbildungen mit der Zusammenfassung veröffentlicht.

A. KLASSIFIZIERUNG DES ANMELDUNGSGEGENSTANDES

     G03F 7/20 (2006.01)i; G02B 5/30 (2006.01)i
Nach der Internationalen Patentklassifikation (IPC) oder nach der nationalen Klassifikation und der IPC

B. RECHERCHIERTE GEBIETE

Recherchierter Mindestprüfstoff (Klassifikationssystem und Klassifikationssymbole) :
     G03F; G02B
Recherchierte, aber nicht zum Mindestprüfstoff gehörende Veröffentlichungen, soweit diese unter die recherchierten Gebiete fallen :
Während der internationalen Recherche konsultierte elektronische Datenbank (Name der Datenbank und evtl. verwendete Suchbegriffe) :
EPO-Internal, INSPEC, WPI Data

C. ALS WESENTLICH ANGESEHENE UNTERLAGEN

Kategorie* Bezeichnung der Veröffentlichung, soweit erforderlich unter Angabe der in Betracht kommenden Teile Betr. Anspruch Nr.
(1)
Y
US 2009115989 A1 (TANAKA HIROHISA [JP]) 07. Mai 2009 (2009-05-07)
1-17
Absätze [0007], [0083], [0116] - [0131], [0139] - [0142]; Abbildungen 1, 9, 12
(2)
Y
DE 102007055567 A1 (ZEISS CARL SMT AG [DE]) 28. Mai 2009 (2009-05-28)
1-17
in der Anmeldung erwähnt
Absätze [0013], [0014], [0061], [0065]; Abbildungen 13c, 13d
(3)
Y
DE 102005033564 A1 (ZEISS CARL SMT AG [DE]) 01. Februar 2007 (2007-02-01)
14
Absatz [0032]
*
Besondere Kategorien von angegebenen Veröffentlichungen:
"A"
Veröffentlichung, die den allgemeinen Stand der Technik definiert, aber nicht als besonders bedeutsam anzusehen ist
"D"
Veröffentlichung, die vom Anmelder in der internationalen Anmeldung angegeben wurde
"E"
frühere Anmeldung oder Patent, die bzw. das jedoch erst am oder nach dem internationalen Anmeldedatum veröffentlicht worden ist
"L"
Veröffentlichung, die geeignet ist, einen Prioritätsanspruch zweifelhaft erscheinen zu lassen, oder durch die das Veröffentlichungsdatum einer anderen im Recherchenbericht genannten Veröffentlichung belegt werden soll oder die aus einem anderen besonderen Grund angegeben ist (wie ausgeführt)
"O"
Veröffentlichung, die sich auf eine mündliche Offenbarung, eine Benutzung, eine Ausstellung oder andere Maßnahmen bezieht
"P"
Veröffentlichung, die vor dem internationalen Anmeldedatum, aber nach dem beanspruchten Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist
"T"
Spätere Veröffentlichung, die nach dem internationalen Anmeldedatum oder dem Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist und mit der Anmeldung nicht kollidiert, sondern nur zum Verständnis des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips oder der ihr zugrundeliegenden Theorie angegeben ist
"X"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann allein aufgrund dieser Veröffentlichung nicht als neu oder auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden
"Y"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann nicht als auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden, wenn die Veröffentlichung mit einer oder mehreren Veröffentlichungen dieser Kategorie in Verbindung gebracht wird und diese Verbindung für einen Fachmann naheliegend ist
"&"
Veröffentlichung, die Mitglied derselben Patentfamilie ist

D. ANGABEN ZU VERÖFFENTLICHUNGEN, DIE ZUR SELBEN PATENTFAMILIE GEHÖREN

Im Recherchenbericht angeführtes Patentdokument Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
Mitglied(er) der Patentfamilie Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
US 2009115989 A1
07. Mai 2009
EP 1953805 A1
JP 5067162 B2
JP 2012182479 A
KR 20080066041 A
TW 200725161 A
US 2009115989 A1
WO 2007055120 A1
06. August 2008
07. November 2012
20. September 2012
15. Juli 2008
01. Juli 2007
07. Mai 2009
18. Mai 2007
DE 102007055567 A1
28. Mai 2009
CN 101868743 A
DE 102007055567 A1
EP 2212729 A2
JP 5172968 B2
JP 2011508409 A
KR 20100109897 A
TW 200938879 A
US 2010231888 A1
WO 2009065819 A2
20. Oktober 2010
28. Mai 2009
04. August 2010
27. März 2013
10. März 2011
11. Oktober 2010
16. September 2009
16. September 2010
28. Mai 2009
DE 102005033564 A1
01. Februar 2007
KEINE
Name und Postanschrift der Internationalen Recherchenbehörde:
European Patent Office
P.B. 5818, Patentlaan 2, 2280 HV Rijswijk,
Niederlande
Tel.: (+31-70)340-2040
Fax: (+31-70)340-3016
Datum des tatsächlichen Abschlusses der internationalen Recherche:
21. März 2017
Absendedatum des internationalen Recherchenberichts:
28. März 2017
Bevollmächtigter Bediensteter:
Eisner, Klaus
Top    Part 1: 1 2 3 4 5 6         Part 2: A B C D E