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1. (WO2006017163) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي   
رقم النشر: WO/2006/017163 رقم الطلب الدولي: PCT/US2005/024237
تاريخ النشر: 16.02.2006 تاريخ الإيداع الدولي: 09.07.2005
التصنيف الدولي للبراءات:
F26B 19/00 (2006.01) ,F27D 11/00 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
BAYNE, Christopher, J. [GB/US]; US (UsOnly)
DIAMOND SEMICONDUCTOR, INC. [US/US]; 16548 Oleander Avenue Los Gatos, CA 95032, US (AllExceptUS)
المخترعون:
BAYNE, Christopher, J.; US
الوكيل:
DORT, David, Bogart; Dort Close IP, PLLC Box 66148 Washington, DC 20035, US
بيانات الأولوية:
10/889,30512.07.2004US
11/090,91726.03.2005US
العنوان (EN) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
(FR) FOUR DE TRAITEMENT SEMI-TOROIDAL POLYVALENT A ECHANGE DE PLAQUETTE AUTOMATIQUE ET RECONFIGURABLE
الملخص:
(EN) The present invention comprises a fully automated, fabrication compliant furnace with the advantages of the horizontal most of the advantages of the vertical furnace. One embodiment of the present invention is that it implements a multi-degree motion robot arm to move wafers from a loading area to a WIP station where the wafer are then loaded into wafer boats on a rotating cantilever system or directly onto a specialized and reconfigurable paddle designed to hold wafers: The wafers may be loaded in the horizontal processing position as well as the vertical processing position. Multiple levels of the semi-toroidal horizontal processors allow for multiple batches of wafers to be loaded, processed, cooled, and unloaded by the robot arm. The present invention reduces the footprint of the traditional horizontal or vertical furnaces, increases capacity and throughput, and allows for direct tube transfer.
(FR) L'invention concerne un four conforme entièrement automatique, ayant les avantages du four horizontal et la plupart des avantages du four vertical. Selon une variante, on décrit un bras de robot à mouvement sur plusieurs degrés pour le déplacement de plaquettes depuis une zone de chargement vers un poste de passage temporaire en cours de production (WIP), où la plaquette est ensuite chargée dans des porte-plaquettes sur un système en porte-à-faux rotatif ou directement sur un support de plaquettes spécialisé et reconfigurable. On peut charger les plaquettes en position de traitement horizontale et en position de traitement verticale. Les niveaux multiples des processeurs horizontaux semi-toroïdaux permettent le chargement, le traitement, le refroidissement et le déchargement de plusieurs lots de plaquettes, via le bras de robot. On réduit ainsi l'empreinte des fours horizontaux et verticaux classiques, en augmentant la capacité et le débit, et en permettant un transfert de tube direct.
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الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
مكتب البراءات الأوروبي الآسيوي (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)