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1. WO2004081390 - MICROVALVE THAT IS DOUBLY CLOSED IN A NORMAL MANNER

ملاحظة:نص مبني على العمليات الآلية للتعرف الضوئي على الحروف. الرجاء استخدام إصدار PDF لقيمته القانونية

Patentansprüche

1. Normal geschlossenes Mikroventil mit folgenden Merkmalen:

einem Fluideinlass (330) ;

einem Fluidauslass (332) ;

einem auslenkbaren Verschlusselement (340; 340'), das im geschlossenen Zustand des Mikroventils auf einer Dichtlippe (324) aufliegt, so dass der Fluideinlass (330) von dem Fluidauslass (332) fluidmäßig getrennt ist, und im geöffneten Zustand des Mikroventils von der Dichtlippe (324) beabstandet ist; und

einer auslenkbaren Haltestruktur (310; 360), die mit dem Verschlusselement (340; 340') derart verbunden ist, dass zwischen denselben ein mit dem Fluidauslass (332) fluidmäßig verbundener Zwischenraum (320) existiert,

wobei eine Krafteinwirkung auf • die Haltestruktur und das Verschlusselement in einer ersten Richtung öffnend wirkt und eine Krafteinwirkung auf die Haltestruktur und das Verschlusselement in einer zweiten Richtung schließend wirkt,

wobei der Fluideinlass (330) und das Verschlusselement (340; 340') derart angeordnet sind, dass ein Druck am Fluideinlass (330) eine Kraft in die zweite Richtung ausübt, und

wobei eine wirksame Fläche der Haltestruktur (310; 360) , die bei Anliegen eines Drucks am Fluidauslass (332) eine Kraft in der zweiten Richtung bewirkt, grö- ßer ist als eine wirksame Fläche des Verschlusselements (340; 340'), die bei Anliegen eines Drucks am Fluidauslass (332) eine Kraft in der ersten Richtung bewirkt.

2. Mikroventil nach Anspruch 1, bei dem die auslenkbare Haltestruktur (310; 360) eine versteifte oder nicht versteifte Membranstruktur aufweist.

3. Mikroventil nach Anspruch 2, bei dem das auslenkbare Verschlusselement (340, 340') eine versteifte oder nicht versteifte Membranstruktur aufweist.

4. Mikroventil nach Anspruch 3, bei der die Haltestruktur (310; 360) eine umlaufend eingespannte, versteifte o- der nicht versteifte Membranstruktur ist, und bei der das Verschlusselement (340; 340') eine zweiseitig eingespannte versteifte oder nicht versteifte Membranstruktur ist.

5. Mikroventil nach Anspruch 4, das zwei Fluideinlässe

(330) an den nicht eingespannten Seiten des Verschlusselements (340, 340') und eine Dichtlippe (324) für jeden der Fluideinlässe (330) aufweist.

6. Mikroventil nach Anspruch 5, das einen Fluidauslass

(332) auf einer oder beiden eingespannten Seiten des Verschlusselements (340, 340') aufweist.

7. Mikroventil nach einem der Ansprüche 3 bis 6, bei dem die versteifte oder nicht versteifte Membranstruktur der Haltestruktur (310; 360) flächenmäßig größer ist als die versteifte oder nicht versteifte Membranstruktur des Verschlusselements (340; 340').

8. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die Haltestruktur (310; 360) und das Verschlusselement (340; 340') durch ein Verbindungsstück (326) verbunden sind, das einen zentralen Bereich der Haltestruktur (310; 360) mit einem zentralen Bereich des Verschlusselements (340, 340') verbindet.

9. Mikroventil nach Anspruch 8, bei dem die Haltestruktur (310; 360) in einer ersten Schicht (300; 300'; 400) gebildet ist und das Verschlusselement (340; 340') in einer zweiten Schicht (302; 302'; 402) gebildet ist, wobei ferner der Fluideinlass (330) , der Fluidauslass (332; 404), -die Dichtlippe (324), der Zwischenraum (320) und das Verbindungsstück (326) in diesen beiden Schichten strukturiert sind, wobei die Schichten an jeweiligen ersten Oberflächen derselben verbunden sind.

10. Mikroventil nach Anspruch 9, bei dem die Dichtlippe

(324), der Zwischenraum (320) und das Verbindungsstück (326) in der ersten Oberfläche der ersten Schicht (300; 300 ; 400) strukturiert sind und der Fluidein- lass (330) und der Fluidauslass (332) in der zweiten Schicht strukturiert sind.

11. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem zwischen der auslenkbaren Haltestruktur (310; 360) und dem auslenkbaren Verschlusselement (340; 340') Stützelemente gebildet sind, die in dem geschlossenen Zustand ein unerwünschtes Durchbiegen des Verschlusselements (340; 340') verhindern.

12. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem die Haltestruktur (310; 360) und das Verschlusselement (340; 340') ausgebildet sind, um durch jeweils herrschende Drücke ausgelenkt zu werden, wobei keine aktive Betätigungseinrichtung für die Haltestruktur oder das Verschlusselement vorgesehen ist.

13. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem ein auf die Haltestruktur wirkender Referenzdruck bei Anliegen eines am Fluidauslass wirkenden Drucks, der im Vergleich zu dem Referenzdruck einen Unterdruck darstellt, öffnend wirkt.

14. Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 13, mit einer Einrichtung zum Einstellen eines auf die Haltestruktur wirkenden Referenzdrucks.

15. Mikropumpe mit einem Mikroventil nach einem der An- sprüche 1 bis.14 als Einlassventil.

16. Mikropumpe nach Anspruch 15, die als Auslassventil ein passives Rückschlagventil aufweist.

17. Mikropumpe nach Anspruch 15, bei der das Einlassventil und Pumpenstrukturen der Mikropumpe in zwei Schichten (400, 402) strukturiert sind.

18. Mikropumpe nach Anspruch 16, bei der das Einlassven- til, Pumpenstrukturen der Mikropumpe und des Auslassventil in zwei Schichten (400, 402) strukturiert sind.