البحث في مجموعات البراءات الوطنية والدولية
بعض محتويات هذا التطبيق غير متوفرة في الوقت الحالي.
إذا استمرت هذه الحالة ، يرجى الاتصال بنا علىتعليق وإتصال
1. (WO2004019128) PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR PHOTOLITHOGRAPHY AND EXPOSURE APPARATUS AND METHOD USING SAME
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي

رقم النشر: WO/2004/019128 رقم الطلب الدولي: PCT/JP2003/010665
تاريخ النشر: 04.03.2004 تاريخ الإيداع الدولي: 22.08.2003
التصنيف الدولي للبراءات:
G02B 17/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Description not available in lang arDescription not available in lang ar
المودعون:
NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331, JP (AllExceptUS)
OMURA, Yasuhiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
IKEZAWA, Hironori [JP/JP]; JP (UsOnly)
WILLIAMSON, David, M. [GB/GB]; GB (UsOnly)
المخترعون:
OMURA, Yasuhiro; JP
IKEZAWA, Hironori; JP
WILLIAMSON, David, M.; GB
الوكيل:
HASEGAWA, Yoshiki ; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Ginza First Bldg. 10-6, Ginza 1-chome Chuo-ku, Tokyo 104-0061, JP
بيانات الأولوية:
0311470.919.05.2003GB
2002-24292523.08.2002JP
العنوان (EN) PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR PHOTOLITHOGRAPHY AND EXPOSURE APPARATUS AND METHOD USING SAME
(FR) SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION ET PROCEDE ASSOCIE POUR LA PHOTOLITHOGRAPHIE, ET APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCEDE ASSOCIE
الملخص:
(EN) Optical Projection System and Method for Photolithography. A lithographic immersion projection system and method for projecting an image at high resolution over a wide field of view. The projection system and method include a final lens which decreases the marginal ray angle of the optical path before light passes into the immersion liquid to impinge on the image plane.
(FR) L'invention concerne un système optique de projection et un procédé associé pour la photolithographie. Elle concerne également un système de projection par immersion lithographique et un procédé de projection d'une image à haute résolution sur un grand champ de vision. Le système de projection comprend une lentille terminale qui réduit l'angle de rayon marginal du chemin optique avant que la lumière entre dans le liquide d'immersion pour venir frapper le plan d'image.
front page image
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
المنظمة الإقليمية الأفريقية للملكية الفكرية (الأريبو) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
المكتب الأوروبي الآسيوي للبراءات (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
المكتب الأوروبي للبراءات (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
المنظمة الأفريقية للملكية الفكرية (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
لغة النشر: الإنكليزية (EN)
لغة الإيداع: الإنكليزية (EN)
:نشرت أيضا باسم
KR1020050035890EP1532489JP2005536775US20050248856US20080068573US20080068576
US20080068724US20080094696US20080049306US20080049336CN1668984AU2003256081