WIPO logo
الهاتف الخلوي | Deutsch | English | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 |
PATENTSCOPE

البحث في مجموعات البراءات الوطنية والدولية
World Intellectual Property Organization
البحث
 
تصفّح
 
الخيارات
 
أخبار
 
تسجيل الدخول
 
مساعدة
 
ترجمة آلية
1. (WO2008121628) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
أحدث البيانات الببلوغرافية المتوفرة لدى المكتب الدولي   

رقم النشر:    WO/2008/121628    رقم الطلب الدولي:    PCT/US2008/058171
تاريخ النشر: 09.10.2008 تاريخ الإيداع الدولي: 26.03.2008
التصنيف الدولي للبراءات:
H01L 21/66 (2006.01)
المودعون: TEL EPION INC. [US/US]; 37 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US) (For All Designated States Except US).
CALIENDO, Steven [US/US]; (US) (For US Only).
HOFMEESTER, Nicolaus [NL/US]; (US) (For US Only)
المخترعون: CALIENDO, Steven; (US).
HOFMEESTER, Nicolaus; (US)
الوكيل: ALLEN, William, R., Ph.D.; Wood, Herron & Evans, L.L.P., 441 Vine Street, 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US)
بيانات الأولوية:
11/694,557 30.03.2007 US
العنوان (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR LA CORRECTION D'IRRÉGULARITÉS SYSTÉMATIQUES AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX
الملخص: front page image
(EN)Embodiments of an apparatus and methods for correcting systematic non- uniformities using a gas cluster ion beam (202) are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.
(FR)L'invention concerne, de manière générale, des modes de mise en oeuvre d'un appareil et de procédés permettant de corriger des irrégularités systématiques au moyen d'un faisceau d'ions d'amas gazeux (202). L'invention concerne d'autres modes de mise en oeuvre pouvant être décrits et revendiqués.
الدول المعيّنة: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
لغة النشر: English (EN)
لغة الإيداع: English (EN)