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1. (WO2012108882) WAFER SCREENING DEVICE AND METHODS FOR WAFER SCREENING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/108882    International Application No.:    PCT/US2011/024584
Publication Date: 16.08.2012 International Filing Date: 11.02.2011
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: ALLIANCE FOR SUSTAINABLE ENERGY, LLC [US/US]; 1617 Cole Boulevard Golden, Colorado 80401 (US) (For All Designated States Except US).
SOPORI, Bhushan [US/US]; (US) (For US Only).
RUPNOWSKI, Przemyslaw [PL/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SOPORI, Bhushan; (US).
RUPNOWSKI, Przemyslaw; (US)
Agent: WHITE, Paul J.; National Renewable Energy Laboratory 1617 Cole Boulevard Golden, Colorado 80401 (US)
Priority Data:
Title (EN) WAFER SCREENING DEVICE AND METHODS FOR WAFER SCREENING
(FR) DISPOSITIF DE CRIBLAGE DE TRANCHE ET PROCÉDÉS POUR LE CRIBLAGE DE TRANCHE
Abstract: front page image
(EN)A wafer screening device 100 and a method of screening semiconductor wafers 116 are disclosed. One embodiment comprises a wafer screening device 100 having multiple diffuse reflecting walls 106 defining an optical cavity 108. In addition, one or more light energy sources 110 are placed in optical communication with the optical cavity 108 such that the light energy sources 110 may illuminate the optical cavity 108. An aperture 114 defined by the optical cavity 108 is also provided. In addition, a wafer transport mechanism 104 is provided in optical communication with the aperture 114 such that a wafer 116 or a quantity of wafers 116 may be transported through an illumination zone 117 defined by the aperture 114.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de criblage de tranche 100 et un procédé de criblage de tranches de semi-conducteur 116. Un mode de réalisation comprend un dispositif de criblage de tranche 100 ayant de multiples parois réfléchissantes à diffusion 106 définissant une cavité optique 108. De plus, une ou plusieurs sources d'énergie lumineuse 110 sont placées en communication optique avec la cavité optique 108 de sorte que les sources d'énergie lumineuse 110 puissent illuminer la cavité optique 108. La présente invention concerne en outre une ouverture 114 définie par la cavité optique 108. De plus, un mécanisme de transport de tranche 104 est disposé en communication optique avec l'ouverture 114 de sorte qu'une tranche 116 ou une quantité de tranches 116 puisse être transportée à travers une zone d'illumination 117 définie par l'ouverture 114.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Org. (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)